Комаров Володимир Львович

Номер патенту: 16340

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Іващук Анатолій Васильович, Комаров Володимир Львович, Петровський Олег Іванович, Кохан Валентин Петрович, Корнус Володимир Григорович

МПК: C23C 14/26

Мітки: пристрій, напилення, речовини, вакуумі

Формула / Реферат:

Устройство для напыления вещества в ваку­уме по авт. св. № 1473369, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества напыляемой пленки за счет увеличения скорости напыления, каждая последующая от центра спирали точка верхнего торца спирали выше, чем предыдущая, причем ве­личина подъема каждого последующего витка вы­бирается из соотношенияД< < а Ї і - він в,где д \ — величина подъема витка, м; а - капиллярная постоянная...