Петровський Олег Іванович

Номер патенту: 16340

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Петровський Олег Іванович, Іващук Анатолій Васильович, Кохан Валентин Петрович, Корнус Володимир Григорович, Комаров Володимир Львович

МПК: C23C 14/26

Мітки: вакуумі, напилення, речовини, пристрій

Формула / Реферат:

Устройство для напыления вещества в ваку­уме по авт. св. № 1473369, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества напыляемой пленки за счет увеличения скорости напыления, каждая последующая от центра спирали точка верхнего торца спирали выше, чем предыдущая, причем ве­личина подъема каждого последующего витка вы­бирается из соотношенияД< < а Ї і - він в,где д \ — величина подъема витка, м; а - капиллярная постоянная...

Номер патенту: 16522

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Босий Віталій Ісайович, Кохан Валентин Петрович, Петровський Олег Іванович, Іващук Анатолій Васильович, Феоклістов Володимир Юр'євич

МПК: H01L 21/30

Мітки: транзисторів, польових, виготовлення, бар'єром, спосіб, шотткі

Формула / Реферат:

Способ изготовления полевых транзисторов с барьером Шоттки, включающий последовательное формирование на подложке n и n+ слоев и слоя диэлектрика, формирование истока и стока, выполнение литографии затвора, удаление на открытых участках диэлектрика и n+ слоя, формирование затвора путем вакуумного напыления и испарителя, взрывную литографию, отличающийся тем, что, с целью снижения шумов полевых транзисторов с барьером Шоттки за счет уменьшения...