Кононов Алєксандр

Установка для вирощування наногетероепітаксійних структур з квантовими точками з рідкої фази

Завантаження...

Номер патенту: 103253

Опубліковано: 25.09.2013

Автори: Кулюткіна Тамара Фатихівна, Марончук Ігор Євгенович, Кононов Алєксандр, Кушнір Костянтин Вадимович

МПК: H01L 21/208, C30B 19/00

Мітки: точками, рідкої, установка, структур, фазі, вирощування, квантовими, наногетероепітаксійних

Формула / Реферат:

Установка для вирощування наногетероепітаксійних структур з квантовими точками з рідкої фази, що складається з вакуумно-газорозподільної системи, комп'ютеризованої системи автоматики, управління та контролю параметрів процесу, систем електроживлення, технологічної системи, яка включає корпус, піч опору, в якій розміщений кварцовий реактор з металевими кришками, що мають отвори для штоків, технологічне оснащення, яке містить касету для...