Кононов Алєксандр
Установка для вирощування наногетероепітаксійних структур з квантовими точками з рідкої фази
Номер патенту: 103253
Опубліковано: 25.09.2013
Автори: Кулюткіна Тамара Фатихівна, Марончук Ігор Євгенович, Кононов Алєксандр, Кушнір Костянтин Вадимович
МПК: H01L 21/208, C30B 19/00
Мітки: точками, рідкої, установка, структур, фазі, вирощування, квантовими, наногетероепітаксійних
Формула / Реферат:
Установка для вирощування наногетероепітаксійних структур з квантовими точками з рідкої фази, що складається з вакуумно-газорозподільної системи, комп'ютеризованої системи автоматики, управління та контролю параметрів процесу, систем електроживлення, технологічної системи, яка включає корпус, піч опору, в якій розміщений кварцовий реактор з металевими кришками, що мають отвори для штоків, технологічне оснащення, яке містить касету для...