Куделін Юрій Васильович
Матеріал для виготовлення тонкоплівкових резисторів
Номер патенту: 11185
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Гончаров Олександр Андрійович, Куделін Юрій Васильович, Усенко Ніна Миколаївна, Соколова Ірина Василівна, Ігнатенко Петро Іванович, Муза Михайло Анатолійович
МПК: H01C 7/00
Мітки: виготовлення, резисторів, тонкоплівкових, матеріал
Формула / Реферат:
(57) Материал для тонкопленочных резисторов, содержащий твердый раствор на основе дисилицида хрома и дисилицида никеля, отличающийся тем, что он дополнительно содержит нитрид кремния при следующем соотношении компонентов, мас. %: дисилицид никеля 19-20 нитрид кремния 3-6 дисилицид хрома остальное.