Соколова Ірина Василівна
Матеріал для виготовлення тонкоплівкових резисторів
Номер патенту: 11185
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Куделін Юрій Васильович, Соколова Ірина Василівна, Усенко Ніна Миколаївна, Ігнатенко Петро Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Муза Михайло Анатолійович
МПК: H01C 7/00
Мітки: матеріал, виготовлення, тонкоплівкових, резисторів
Формула / Реферат:
(57) Материал для тонкопленочных резисторов, содержащий твердый раствор на основе дисилицида хрома и дисилицида никеля, отличающийся тем, что он дополнительно содержит нитрид кремния при следующем соотношении компонентов, мас. %: дисилицид никеля 19-20 нитрид кремния 3-6 дисилицид хрома остальное.