Любак Руслан Володимирович
Клеюча речовина для кріплення напівпровідникових пластин при поліруванні
Номер патенту: 1565
Опубліковано: 25.07.1994
Автори: Любак Руслан Володимирович, Вялий Василь Якович, Живов Михайло Давидович, Іванчич Ольга Семенівна, Богданов Євген Іванович
МПК: H01L 21/302
Мітки: пластин, поліруванні, напівпровідникових, клеюча, кріплення, речовина
Формула / Реферат:
Клеящий состав для крепления полупроводниковых пластин при полировании, содержащий канифоль, церезин и двухромовокислый калий, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества и повышения выхода годных пластин, он дополнительно содержит смесь трихлорэтилена с изопропанолом, взятых в массовом соотношении 70:30 при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:канифоль ...