Вялий Василь Якович
Клеюча речовина для кріплення напівпровідникових пластин при поліруванні
Номер патенту: 1565
Опубліковано: 25.07.1994
Автори: Живов Михайло Давидович, Богданов Євген Іванович, Іванчич Ольга Семенівна, Вялий Василь Якович, Любак Руслан Володимирович
МПК: H01L 21/302
Мітки: клеюча, поліруванні, напівпровідникових, речовина, кріплення, пластин
Формула / Реферат:
Клеящий состав для крепления полупроводниковых пластин при полировании, содержащий канифоль, церезин и двухромовокислый калий, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества и повышения выхода годных пластин, он дополнительно содержит смесь трихлорэтилена с изопропанолом, взятых в массовом соотношении 70:30 при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:канифоль ...