Вялий Василь Якович

Клеюча речовина для кріплення напівпровідникових пластин при поліруванні

Завантаження...

Номер патенту: 1565

Опубліковано: 25.07.1994

Автори: Живов Михайло Давидович, Богданов Євген Іванович, Іванчич Ольга Семенівна, Вялий Василь Якович, Любак Руслан Володимирович

МПК: H01L 21/302

Мітки: клеюча, поліруванні, напівпровідникових, речовина, кріплення, пластин

Формула / Реферат:

Клеящий состав для крепления полупро­водниковых пластин при полировании, содер­жащий канифоль, церезин и двухромовокислый калий, отличающийся тем, что, с целью улуч­шения качества и повышения выхода годных пластин, он дополнительно содержит смесь трихлорэтилена с изопропанолом, взятых в массо­вом соотношении 70:30 при следующем соотно­шении компонентов, мас.ч.:канифоль                                                      ...