Клеюча речовина для кріплення напівпровідникових пластин при поліруванні

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТЖЕСНИХ РЕСПУБЛИК 3 А1 (51)5 Н 01 L 2 1 / 3 0 2 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР Aft fi • ти пііиіііпиїттт—ггпгатгші и Я ШШВІ ти ПІНІ (21) Ш 1 2 7 3 / 2 5 (22) 06.0*t.90 D (ВД 07,04.92 Бюл. ' 13 i (71) Завод "Квазар" Научно-производственного объединения "Микропроцессор" (72) М.Д.Живов, Е.И.Богданов, Р.В,Любек, В0Я.Вялый и О.С.Ивэнчич (53) 621.382,002(088.8) (56) Рвторское свидетельство СССР № 1290355, кп. Н 01 L 21/302, 1985. Авторское свидетельство СССР № 129^215, кл с Н 01 L 21/302, 198^. (5*0 КЛЕЯЩИЙ СОСТАВ ДЛЯ КРЕПЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПОЛИРОВАНИИ Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин преимущественно при их полировании. Известен клеящий состав для крепления полупроводниковых пластин при их механической обработке, содержащий канифоль, триглицерид и растворитель, причем каждый состав наносят на столик для закрепления пластин центрифугированием. Недостатком этого состава является наличие краевых сколов и трещин на пластинах при их полировании, так как при разогреве полировальника в процессе обработки пластин клеящий состав размягчается, прочность, удержания пластин на столике снижается, происходит их сдвиг на столике, что (57) Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для крепления полупроводниковых пластин при полировании. Состав содержит компоненты, мас.%: канифоль 80-85', церезин 15-18; двухромовокислый калий 0,08-0,09; смесь трихлорэтилена с изопропиленом 150-500. Смесь трихлорэтилена с изопропиленом взята в весовом соотношении 70:30. Характеристика состава: при комнатной температуре в жидком состоянии. 1 табл. сопровождается скалыванием и растрескиванием пластин. При достаточно сильном размягчении состава возможен срыв пластин со столика и их бой. Повышение же прочности удержания пластин на столике путем снижения давления н а пластины при полировании и температуры полировальника значительно снижает скорость полирования и, соответственно, производительность процесса обработки. Наиболее близким к предлагаемому является клеящий состав для крепления полупроводниковых пластин при полировании, содержащий канифоль, церезин и двухромовокислый калий, причем отвержденный состав наносят на разогретый столик плавлением. Недостатком известного состава является большой клин пластин после П25293дой фазы. Кроме того, стабильность~ полирования, так как нанесение клеяазеотропной смеси делает возможным щего состава плавлением не обеспечипроводить регенерацию состава для • вает требуемую точность крепления повторного использования. пластин на столике из-за большого При массовом содержании смеси разброса толщины слоя состава под трихлорэтилена с изопропанолом мепластинами. Кроме того, при неравнонее 150 м а е м . , например 120 мас.ч.і мерности нанесения клеящего состава из-за повышенной вязкости состав на столик пластины при полировании 10 наносится на столик неравномерным испытывают повышенные механические слоем, точность крепления пластин нагрузки, что приводит к скалыванию, на столике снижается и клин пластин растрескиванию и бою пластин. после полирования увеличивается. Целью изобретения является улучПри массовом содержании смеси шение качества и повышение выхода годтрихлорэтилена с изопропанолом ных пластин. . 15 более 500 мас«ч«,| например 530 м а с ч . , Клеящий состав для крепления полуиз-за малой вязкости толщина нанопроводниковых пластин при полировасимого на столик состава не првышании, содержащий канифоль, церезин и ет 1-2 мкм. Б этом случае снижаетдвухромовокислыи калий, дополнительно 20 ся прочность крепления пластин на содержит смесь трихлорэтилена с изо" столике, что приводит к срыву плапропанолом, взятых в массовом соотстин со столика при полировании. ношении 70:30, при следующем соотноПри массовом содержании канифоли шении компонентов, мас.ч.: менее 8П мас.ч., например 75 мас.ч.. Канифоль 80-85 25 и церезина более 18 мас.ч., наприЦерезин 15-18 мер 20 маСсЧ., клеящий состав характеДвухромовокислый ризуется низкой прочностью креплечалий 0,08-0,09 ния пластин на столике в начальный 1,месь трихлорэтилена период полирования, когда темперас изопропзнолом 150-5^0 30 тура полировальника находится в Введением смеси трихлорзтилена пределах 293-298 К, в результате с изопропанолом достигается получепроисходит самопроизвольный срыв нием клеящего состава в жидком виде пластин со столика и их'бой. и возможность его нанесения на стоПри массовом содержании канифолик центрифугированием равномерным • по толщине слоем, В этом случае 25 -пи более 85 мас.ч., например 90 мас.ч. г обеспечивается минимальный клин (рази церезина менее 15 м а с ч . , напринотолщинность) пластини отсутствие мер 12 мас.ч. при температуре полискалывания, растрескивания и боя ровальника 315~316 К клеящий состав пластин при полировании, так как размягчается 9 происходит сдвиг пластины при высокой точности креп40 пластин и их скалывание и растрескиления на столике не испытывёют пование, а при 317~318 К происходит вышенных механических нагрузок. срыв пластин со столика. В то же время при соблюдении рекомендуемого Массовое соотношение трихлормассового соотношения компонентов этилена и изопропанола 70:30 соответствует образованию азеотропной смеси 45 размягчение состава возможно только при 327-32Э К, а срыв пластин - тольэтих растворителей, отличающейся стабильным составом при использовако при 330 К и выше. нии и высокой растворяющей способноПри массовом содержании двухромостью. Этим достигается полное раствокислого калия менее 0,08 мас.ч., ворение канифоли'и церезина, пред50 например 0,05 мас.ч о или более ставляющих собой сложные органиче0р9 мае, ч.,например 0,12 мас.ч с , ские соединения, и получение клеяухудшается качество отмывки пластин щего состава высокой степени однопосле обработки,. родности без твердых включений. ПриКлеящий состав•готовят следующим менение индивидуальных растворителей 55 образом. или неазеотропных смесей вызывает В кастрюлю из жаростойкого -стеклишь частичное растворение твердых ла помещают канифоль и добавляют компонентов, вследствие чего состав двухромовокислыи калий, нагревают содержит нерастворенные частицы твердо полного расплавления компонентов 5 1725293 и выдерживают при ^83 К в течение 2 ч. сом до комнатной температуры. После окончания выдержки в полученную Закрепленные на столике пластины смесь добавляют церезин, перемешиподвергают химико-механическому поли1 вают до получения однородной массы, , рованию Предлагаемый состав может прекращают нагрев и охлаждают смесь быть нанесен также непосредственно на воздухе до полного затвердевания. на нерабочую сторону полупроводникоВ специальную емкость заливают тривых пластинэ хлорэтилен, затем изопропанол и тщаПримеры использования предлагаетельно перемешивают. Отвержденную 10 мого состава и результаты полировасмесь извлекают из кастрюли и помения пластин по сравнению с известщают в емкость с растворителями. Крышным представлены в таблице. ку емкости герметично закрывают и Производительность процесса полинагревают содержимое до полного рования с использованием предлагарастворения твердой фазы. После этого 15 емого состава не уменьшается, Использование клеящего состава для креппрекращают нагрев и охлаждают состав ления полупроводниковых пластин при до комнатной температуры. полировании позволяет повысить каче~ Подготовку столика, и крепление поство пластин, значительно уменьшив лупроводниковых пластин на столике осуществляют следующим образом. Сто- 20 их разнотолщинность (клин) в процессе полирования. Выход годных пластин лик диаметром 350 мм помещают в спепо сравнению с известным увеличиваетциальную центрифугу, закрепляют фикся на 1,0-3,0% и за счет исключения саторами, включают привод вращения брака по сколам и трещинам, а также центрифуги и подают в центральную раскалывания пластин. часть столика дозированное количество клеящего состава. После полного Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я растекания состава по^ловерхности столика выключают привод вращения Клеящий состав для крепления полуцентрифуга и после остановки свобож30 проводниковых пластин при полировадэют столик от Фиксаторов, Затем нии, содержащий канифоль, церезин помещают столик на нагревательную и двухромовокислый калий, о т л и плиту и выдерживают при 365 К в теч а ю щ и й с я тем, что, с целью. чение 5 мин для полного удаления улучшения качества и повышения вырастворителей из слоя клеящего состава35. хода годных пластин, он дополнительно содержит смесь трихлорэтилена с Кремниевые пластины, например, изопрспанолом, взятых в массовом содиаметром 100 мм, прошедшие после отношении 70:30 при следующем соотрезки операции формирования фаски, ношении компонентов, м а с . ч . : двустороннего шлифования свободным абразивом и глубокого химического Канифоль 80-85 Церезин 15-18 травления в кислотном травителе, Двухромовокислый раскладывают на столике и помещают калий под охлаждающий пресс, прижимающий 0,08-0,09 пластины при давлении 2,5'10s Па.. ОхСмесь трихлорэтилена с изопропанолом лаждают столик с пластинами под прес- 45 150-500 При Клин пла Брак по Канифоль 1 2 3 Предлагаемый состав, масД сле полирования, трещинам и бою пластин, % 83 80 85 Цере- Двухрозин мовокислый калий 17 15 18 0,083 0,08 • 0,09 Смесь трихлорэтилена с изопропанолом 350 150 500 мкм М 5,2 3,7 0 0 0 725293 Продолжение таблицы Призер 5 6 7 Предлагаемый состав, Канифоль 75 90 85 80 8 80 (известный^ Редактор И.Шулла Цере- ДвухроэиИ мовокислый калий 20 12 18 15 0,085 0,087 0,09 0,08 19 ,9 масД Смесь трихлорэтилена с изопропанолом 350 0,1 ЦОО 120 530 Соста витель 0.Бочкин Техред м.Дидык Клин пла Брак по еле полирования, трещинам и бою пластин, % мкм 5,0 м 10,3 1,8 КЗ 3,0 0 1,6 15,7 2,5 Корректор М".Самборская Заказ 1180 . Тираж . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101