Матюшин Євген Васильович

Номер патенту: 11382

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Малайдах Володимир Якович, Матюшин Євген Васильович, Новосядлий Степан Петрович, Скріпов Федір Олександрович

МПК: H01L 21/70

Мітки: інтегральних, спосіб, структур, біполярних, схем, виготовлення

Формула / Реферат:

Способ изготовления структур биполярных интегральных схем, включающий окисление под­ложки из р-кремния, формирование маски из ок­сида кремния с окнами для скрытых областей, формирование в подложке скрытых n+-областей, осаждение эпитаксиального n-слоя кремния, фор­мирование маски из оксида кремния с окнами для разделительных областей, формирование раздели­тельных областей, формирование маски из оксида кремния с окнами для базовой диффузии,...