Процайло Ігор Богданович
Кнд мдн – транзистор
Номер патенту: 4120
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Кеньо Галина Володимирівна, Костур Володимир Георгійович, Процайло Ігор Богданович, Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович
МПК: H01L 27/12
Мітки: кнд, транзистор, мдн
Формула / Реферат:
КНД МДП-транзистор, содержащий монокристаллическую подложку с последовательно расположенными на ней слоями изолирующего окисла, рекристаллизованного поликремния с активной областью канала, включающего области истока и стока, подзатворного диэлектрика и электрода затвора из поликремния, контакты к областям стока и истока, планарный дополнительный контакт к канальной области, отличающийся тем, что дополнительный контакт выполнен в виде...