Кеньо Галина Володимирівна
Матриця кні мдн-транзисторів
Номер патенту: 9823
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Кеньо Галина Володимирівна, Яворський Петро Васильович, Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Костур Володимир Георгійович
МПК: H01L 27/105
Мітки: кні, мдн-транзисторів, матриця
Формула / Реферат:
(57) Матрица КНИ МДП-транзисторов, содержащая монокристаллическую кремниевую подложку с последовательно сформированными на ней слоями изолирующего окисла и рекристаллизованного поликремния, имеющую чередующиеся в шахматном порядке области стоков и истоков транзисторов, слои подзатворного диэлектрика и затворов матричной конфигурации, при этом рекристаллизованный поликремний соединен с подложкой посредством контактной области, отличающаяся...
Кнд мдн – транзистор
Номер патенту: 4120
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Костур Володимир Георгійович, Кеньо Галина Володимирівна, Процайло Ігор Богданович, Когут Ігор Тимофійович, Дружинін Анатолій Олександрович
МПК: H01L 27/12
Мітки: кнд, транзистор, мдн
Формула / Реферат:
КНД МДП-транзистор, содержащий монокристаллическую подложку с последовательно расположенными на ней слоями изолирующего окисла, рекристаллизованного поликремния с активной областью канала, включающего области истока и стока, подзатворного диэлектрика и электрода затвора из поликремния, контакты к областям стока и истока, планарный дополнительный контакт к канальной области, отличающийся тем, что дополнительный контакт выполнен в виде...