Пундик Степан Васильович

Номер патенту: 13051

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Кутовой Ігор Васильович, Шурдук Борис Костянтинович, Пундик Степан Васильович

МПК: H01L 21/22

Мітки: спосіб, основі, мікросхем, виготовлення, мдн-транзисторів

Формула / Реферат:

(57) Способ изготовления микросхем на основе МДП-транзисторов, включающий химическую обработку пластин кремния, окисление, фотолитографию, диффузию примеси в областях стоков и истоков, отличающийся тем, что после формирования маскирующего окисла проводят контроль изменения удельного сопротивления пластины кремния, и диффузию примеси проводят при температуре окисления на глубину, определяемую выражением