Патенти з міткою «мдн-транзисторів»

Номер патенту: 13051

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Шурдук Борис Костянтинович, Пундик Степан Васильович, Кутовой Ігор Васильович

МПК: H01L 21/22

Мітки: основі, мдн-транзисторів, спосіб, виготовлення, мікросхем

Формула / Реферат:

(57) Способ изготовления микросхем на основе МДП-транзисторов, включающий химическую обработку пластин кремния, окисление, фотолитографию, диффузию примеси в областях стоков и истоков, отличающийся тем, что после формирования маскирующего окисла проводят контроль изменения удельного сопротивления пластины кремния, и диффузию примеси проводят при температуре окисления на глубину, определяемую выражением

Номер патенту: 9823

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Костур Володимир Георгійович, Когут Ігор Тимофійович, Кеньо Галина Володимирівна, Яворський Петро Васильович

МПК: H01L 27/105

Мітки: мдн-транзисторів, кні, матриця

Формула / Реферат:

(57) Матрица КНИ МДП-транзисторов, содержащая монокристаллическую кремниевую подложку с последовательно сформированными на ней слоями изолирующего окисла и рекристаллизованного поликремния, имеющую чередующиеся в шахматном порядке области стоков и истоков транзисторов, слои подзатворного диэлектрика и затворов матричной конфигурации, при этом рекристаллизованный поликремний соединен с подложкой посредством контактной области, отличающаяся...