Смолич Олександр Сергійович
Спосіб визначення рекомбінаційних параметрів в технологічних пластинах кремнію
Номер патенту: 53343
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Смолич Олександр Сергійович, Лисоченко Сергій Васильович, Чирчик Сергій Васильович, Примаченко Іван Андрійович
МПК: G01N 27/00
Мітки: параметрів, визначення, рекомбінаційних, спосіб, пластинах, технологічних, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб визначення рекомбінаційних параметрів в технологічних пластинах кремнію, що включає імпульсне освітлення поверхні напівпровідника світлом з довжиною хвилі, меншою краю власного поглинання напівпровідника, постійне опромінення напівпровідника надвисокочастотною електромагнітною хвилею, вимірювання концентрації нерівноважних носіїв заряду від часу за величиною потужності, відбитої або яка пройшла через зразок електромагнітної хвилі, і...