Стогній Дмитро Васильович
Спосіб отримання гетероепітаксійних шарів напівпровідникових сполук
Номер патенту: 38627
Опубліковано: 12.01.2009
Автори: Буряченко Володимир Іванович, Шутов Станіслав Вікторович, Стогній Дмитро Васильович, Хлопенова Ірина Анатоліївна
МПК: C30B 19/00, C30B 29/00, H01L 21/02 ...
Мітки: сполук, спосіб, шарів, напівпровідникових, отримання, гетероепітаксійних
Формула / Реферат:
Спосіб отримання гетероепітаксійних шарів напівпровідникових сполук, що включає формування мезаструктур на підкладці фотолітографією, травленням та гетероепітаксійне вирощування, який відрізняється тим, що мезаструктурам надають призматичної або пірамідальної форми, а гетероепітаксійне вирощування шару з відмінним значенням постійної ґратки виконують в один етап.