Яворський Петро Васильович
Матриця кні мдн-транзисторів
Номер патенту: 9823
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Когут Ігор Тимофійович, Яворський Петро Васильович, Костур Володимир Георгійович, Дружинін Анатолій Олександрович, Кеньо Галина Володимирівна
МПК: H01L 27/105
Мітки: мдн-транзисторів, кні, матриця
Формула / Реферат:
(57) Матрица КНИ МДП-транзисторов, содержащая монокристаллическую кремниевую подложку с последовательно сформированными на ней слоями изолирующего окисла и рекристаллизованного поликремния, имеющую чередующиеся в шахматном порядке области стоков и истоков транзисторов, слои подзатворного диэлектрика и затворов матричной конфигурации, при этом рекристаллизованный поликремний соединен с подложкой посредством контактной области, отличающаяся...