Мас-спектрометричний течошукач

Изобретение относится к контролю герметичности масс-япектрометрическим методом и позволяет повысить чувствительность путем уменьшения остаточного фона пробного газа в масс-спектрометрической камере. Массспектрометрическая камера 1 соединена с входом диффузионного вакуумного насоса 2, выход которого соединен с формирователем 4 молекулярного режима (ФМР), имеющим демпфирующие емкости 5. Механический вакуумный насос соединен с камерой I и ФМР 4, Через натекатель 6 подается газ, не содержащий контрольного газа, на выход диффузионного вакуумного насоса 2, при этом снижается уровень остаточного фона и повышается чувствительность. 1 ил. Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и может быть использовано при контроле герметичности изделий масс-спектрометрич'еским методом. ^ Цель изобретения - повышение чувствительности путем уменьшения остаточного фона пробного газа в масс-спектрометрической камере. На чертеже представлена схема масс-спектрометрического течеискателя. Масс-спектрометрический течеискатель содержит камеру 1, диффузионный вакуумный насос 2, вход которого соединен с первым выходом камеры 1, механический вакуумный насос 3, вход которого соединен с вторым выходом камеры 1, формирователь 4 молекулярного режима,* вход которого соединен с выходом диффузионного вакуумного насоса 2 и с входом механического вакуумного насоса 3, две . демпфирующие емкости 5, установленные на входе и выходе формирователя 4 молекулярного режима, натекатель 6 газа, отличного от того, на который настроена камера 1 , и контрольную течь 7. 4 Масс-спектрометрический течеис катель работает следующим образом, С помощью механического вакуумного насоса 3 вакуумируют камеру 1 и форвакуумную магистраль на выходе диффузионного вакуумного насоса 2. Создают высокое разрежение в камере 1 путем откачки ее диффузионным вакуумным насосом 2. Через натекатель 6 газа подают на выход диффузионного вакуумного иасоса 2 газ, отличный от контрольного, обеспечивая снижение остаточного фона контрольного газа в камере Ї. При работе масс-спектрометрического течеискателя формирователь 4 молекулярного режима исключает высокочастотную составляющую флук 00 OS 1546861 туаций, а демпфирующие емкэсти 5 низкочастотную составляющую флуктуации давления. Подача аргона через натекатель 6 газа череч В Ы У О Д диффузионного вакуумного насоса 2 в камеру 1 позволяет повысить чувствительность масс-спектрометрического течеискателя в 10 раз. Введение газа, не содержащего 10 контрольный, на выход пароструйного насоса в обычных течеискателях без формирователей молекулярного режима течения и демпфирующих емкостей также позволяет снизить уровень остаточного фона и, тем самым, увеличить полезный отсчет Ло£ к т Однако при этом увеличения чувствительности не происходит, так как пропорционально увеличению &dkT возрастает уровень 20 флуктуации. Это объясняется тем, что у работающих без нагрузки течеискателей режим течения в форвакуумной магистрали является молекулярным» но в соответствии с критерием Кнуд25 Сена близок к молекулярно-вязкостному (промежуточному }, При увеличении нагрузки на насосную систему течеискателя до предельно допустимой режим течения в форвакуумной магист30 рали становится вязкостным. Этот режим характеризуется марой длиной свободного пробега и преимущественным взаимодействием молекул газа между собой, что способствует передаче возмущений, вносимых механичес- 35 ким насосом течеискателя, по форвакуумным трубопроводам и нарушению Редактор Л.Веселовская стабильной работы пароструйного насоса. Уровень нестабильности работы пароструйного насоса и определяет величину флуктуации парциального давления пробного газа в масс-спектрометрической камере течеискателя. Поэтому наличие в конструкции течеискателя устройства в виде формирователя молекулярного режима течения и демпфирующих емкостей, стабилизирующих работу пароструйного насоса при больших газовых нагрузках, обеспечивает возможность поддержания низкого уровня флуктуации при подаче в форвакуумную магистраль газа, не содержащего контрольный. Формула и з о б р е т е н и я Масс-спектрометрический течеискаТель, содержащий камеру, диффузионный и механический вакуумные насосы, формирователь молекулярного режима течения, вход которого соединен с выходом диффузионного вакуумного насоса, а выход - с входом механического вакуумного насоса, две демпфирующие емкости, установленные на входе и выходе формирователя молекулярного режима течения, и контрольную течь, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, снабжен натекателем газа, отличного то "того, на который настроена камера, соединенным с выходом гдифф_узионного вакуумного насоса. Составитель Б.Черноусов Техред М.Дидык Корректор Э.Лончакова Заказ 75 Тираж 442 Подписное В И П Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР НИИ 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д . Производственно-издатрльский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101