Клапан вакуумний

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным системам оборудования для диффузионных плазменных упрочняющих процессов. Известен клапан вакуумный с электромагнитным приводом, состоящий из корпуса с двумя патрубками для присоединения его к магистрали вакуумного насоса и вакуумируемой полости, седла на входе патрубка вакуумируемой полости, тарелки с уплотнителем, главной пружины, сильфона, штока и механизма подъема штока, в котором подъемный шток приводится в действие электромагнитом, при этом тарелка клапана отрывается от седла и соединяет вакуумируемую полость с магистралями вакуумного насоса [1, с. 98-99], принят в качестве прототипа. Недостатком прототипа является дискретный характер действия, при котором не представляется возможным регулировать размеры сечения и дросселированием изменять пропускную способность клапана, невозможность автоматического закрывания клапана в случае исчезновения электропитания, что приводит к отсасыванию вакуумного масла с вакуумного насоса в вакуумируемую полость и вызывает необходимость ее последующей очистки. В основу изобретения поставлена задача создания конструкции вакуумного клапана, которая позволяла бы регулировать его пропускную способность и одновременно обеспечивала бы автоматическое закрывание клапана в случае исчезновения электропитания. Поставленная задача создания конструкции вакуумного клапана, которая позволяла бы регулировать его пропускную способность и одновременно обеспечивала бы автоматическое закрывание клапана в случае исчезновения электропитания, для клапана с зубчато-реечным механизмом подъема штока осуществляется тем, что имеется пружинно-электромагнитное устройство расцепления зубчатой рейки и шестерни, а для клапана, в котором механизм подъема штока выполнен в виде передачи винт-гайка, осуществляется тем, что имеется пружинно-электромагнитное устройство расцепления половинок гайки с винтом. Сущность изобретения поясняется чертежами. На фиг.1 изображена схема вакуумного клапана с зубчатореечным механизмом подъема штока; на фиг.2 - вид на пружинно-электромагнитное устройство расцепления зубчатой рейки и шестерни; на фиг.3 - схема вакуумного клапана с механизмом подъема штока в виде передачи винт-гайка; на фиг.4 - вид на пружинно-электромагнитное устройство расцепления половинок гайки с винтом. Клапан вакуумный состоит из корпуса 1 с седлом 2, патрубками присоединения к вакуумируемой полости 3 и магистрали вакуумного насоса 4, тарелки 5 с уплотнителем 6, сильфона 7, главной пружины 8, электромагнита устройства расцепления 9, расцепляющей пружины 10. Кроме того, клапан вакуумный с зубчато-реечным механизмом подъема штока включает зубчато-реечный шток 11, шестерню 12 с приводом 13, а клапан с механизмом подъема штока в виде передачи винт-гайка состоит из винтообразного штока 14, его привода 15, соединяемого с винтом посредством скользящей шпонки 16, двухполовинчатой гайки 17 и шарнирно-рычажного механизма разведения половинок гайки 18. Клапан вакуумный работает следующим образом. После включения управления клапаном подается напряжение на обмотку электромагнита устройства расцепления 9 тянущего типа для клапана с зубчато-реечным механизмом подъема штока и толкающего типа для клапана с механизмом подъема штока в виде передачи винт-гайка. При этом шестерня 12 входит в зацепление с зубчатой рейкой штока 11 или половинки гайки 17 посредством шарнирно-рычажного механизма 18 плотно охватывают винтовую часть штока 14, а расцепляющая пружина 10 сжимается. Главная пружина 8 прижимает уплотнители 6 тарелки 5 к седлу 2, поэтому клапан герметизирует вакуумируемую полость, к которой он присоединен патрубком 3. Включением привода 13 шестерни 12 зубчатая рейка штока 11, сжимая главную пружину 8, поднимает тарелку 5 на необходимую высоту сообразно требуемой пропускной способности, чем соединяет магистраль вакуумного насоса, к которой подключен патрубок 4, с вакуумируемой полостью. Вся вакуумная система при этом остается герметичной, так как со стороны механизма подъема штока корпус 1 герметизирован сильфоном 7. В случае обесточивания системы размыкающая пружина 10 размыкает зубчатую рейку и шестерню, шток под действием главной пружины 8 опускается, прижимая уплотнители 6 тарелки 5 к седлу 2, закрывает клапан. В вакуумном клапане с механизмом подъема штока в виде передачи винт-гайка после включения привода 15 шток 14, вращаясь посредством скользящей шпонки 16, вывинчивается из гайки 17 и поднимает тарелку 5 на необходимую высоту в соотве тствии с требуемой пропускной способностью. Если клапан в аварийной ситуации будет обесточен, то размыкающая пружина 10 синхронно благодаря наличию шарнирно-рычажного механизма 18 разводит половинки гайки 17. Освободившийся шток 14 под действием главной пружины 8 опускается и закрывает клапан.