Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 26976
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович
Формула / Реферат
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за величиною різниці частот визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення.
Текст
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому 3 частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за величиною різниці частот визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення. На кресленні наведено схему пристрою для визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення для реалізації зазначеного способу.(Див. Фіг.) Пристрій містить перший інтерференційний оптичний фільтр 1 і другий інтерференційний оптичний фільтр 2, перший оптичний частотний перетворювач 3, вхід якого оптично пов'язаний з першим інтерференційним оптичним фільтром 1, другий оптичний частотний перетворювач 4, вхід якого оптично пов'язаний з другим інтерференційним оптичним фільтром 2, частотний компаратор 5, перший вхід якого з'єднано з виходом першого оптичного частотного перетворювача 3, а другий вхід - з виходом другого оптичного перетворювача 4. Спосіб здійснюється наступним чином. Оптичне випромінювання подають на перший інтерференційний оптичний фільтр 1, де із загального спектру випромінювання плазми виділяють інформативний оптичний сигнал, інтенсивність якого залежить від концентрації збуджених частинок плазми, що відповідають за хід цільового процесу травлення, і другий інтерференційний оптичний фільтр 2, де із загального спектру випромінювання плазми виділяють фоновий оптичний сигнал, інтенсивність якого не пов'язана з випромінюванням збуджених частинок плазми, що відповідають за хід цільового процесу травлення. Оптичний сигнал з першого інтерференційного фільтра 1 подають на вхід першого оптичного частотного перетворювача 3, де перетворюють в електричний частотний сигнал частотою f1, а оптичний сигнал з другого інтерференційного фільтра 2 подають на вхід другого оптичного частотного перетворювача 4, де його перетворюють в електричний сигнал частотою f2. Частотний сигнал f1 з виходу першого оптичного перетворювача 3 подають на перший вхід частотного компаратора, а частотний сигнал f2 з виходу другого оптичного перетворювача 3 подають на другий вхід частотного компаратора 5. В частотному компараторі 5 сигнали f1 та f2 порівнюють між собою і отримують на виході компаратора 5 результуючий частотний сигнал (fpeз), за величиною якого судять про момент закінчення процесу плазмохімічного травлення. 26976 4
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюMethod for determination of the process finishing point of plasmochemical etching
Автори англійськоюKravchenko Serhii Yuriiovych, Kravchenko Yurii Stepanovych, Osadchuk Volodymyr Stepanovych, Osadchuk Oleksandr Volodymyrovych
Назва патенту російськоюСпособ определения момента окончания процесса плазмохимического травления
Автори російськоюКравченко Сергей Юрьевич, Кравченко Юрий Степанович, Осадчук Владимир Степанович, Осадчук Александр Владимирович
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, закінчення, плазмохімічного, процесу, спосіб, моменту, визначення
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-26976-sposib-viznachennya-momentu-zakinchennya-procesu-plazmokhimichnogo-travlennya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення</a>
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 26975
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович
МПК: H01L 21/302
Мітки: процесу, моменту, пристрій, травлення, закінчення, плазмового, визначення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'ятий...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 4229
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: пристрій, закінчення, визначення, травлення, процесу, плазмового, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 4413
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: процесу, травлення, пристрій, плазмового, закінчення, визначення, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9698
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, пристрій, визначення, моменту, процесу, плазмового, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9700
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: плазмового, закінчення, моменту, травлення, процесу, пристрій, визначення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори,...
Попередній патент: Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Наступний патент: Пристрій для діагностування системи захисту технологічного об`єкта
Випадковий патент: Напірно-імпульсний водоочисний комплекс