Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача 3 26975 фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'я тий резистори, причому перший полюс джерела постійної напруги через перший резистор і другий резистор підключено до фотодіода, першого біполярного транзистора і другого біполярного транзистора, паралельно колекторам яких підключено послідовне коло з третього і четвертого резистора, а послідовне коло з першої ємності і п'ятого резистора підключено до емітера і колектора третього біполярного транзистора, до колектора якого і загальної шини підключена друга ємність, паралельно якій підключено джерело постійної напруги, а вихід пристрою утворений колектором першого біполярного транзистора і загальною шиною. Використання запропонованого пристрою суттєво підвищує точність виміру інформативного параметру за рахунок використання в якості елементів коливального контуру: ємнісного - на основі двох біполярних транзисторів та індуктивного - на основі використання індуктивних властивостей третього біполярного транзистора, і в якому зміна провідності під дією світла перетворюється в ефективну зміну резонансної частоти. На кресленні подано схему пристрою для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення (Фіг.). Пристрій складається з вузькосмугового інтерференційного фільтра 1, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить перше джерело напруги 2, яке через перший резистор 3 і другий резистор 4 підключено до фотодіода 5 і першого біполярного транзистора 6 і другого біполярного транзистора 7, паралельно колекторам яких підключено послідовне коло з третього резистора 8 і четвертого резистора 9. Послідовне коло з першої ємності 10 і п'ятого резистора 11 підключено до емітера і колектора третього біполярного транзистора 12, до колектора якого і загальної шини підключена друга ємність 13, паралельно якій підключено перше джерело постійної напруги 2. Вихід пристрою утворений колектором першого біполярного транзистора 6 і загальною шиною. Пристрій працює наступним чином. В початковий момент часу оптичне випромінювання не діє на фотодіод 5. Підвищенням напруги джерела постійної напруги 2 через резистор 3 і резистор 4 до величини, коли на електродах колектор-колектор біполярних транзисторів 6, 7 виникає від'ємний опір, який приводить до виникнення електричних коливань в контурі, який утворений паралельним включенням повного опору з ємнісним характером на електродах колектор-колектор біполярних транзисторів 6, 7 та повним опором з індуктивним характером, величина індуктивності якого визначається резистором 11, на електродах емітер-колектор третього біполярного транзистора 4 12. Ємність 13 запобігає проходженню змінного струму через джерело постійної напруги 2. При наступній дії оптичного випромінювання на фотодіод 5 змінюється як ємнісна так і індуктивна складова повного опору на електродах колекторколектор біполярних транзисторів 6, 7 та повного опору на електродах емітер-колектор третього біполярного транзистора 12, що викликає зміну резонансної частоти коливального контур у.