П’єзокерамічний сканер

П'єзокерамічний сканер, що містить основу, утримувач об'єкта або зонда, чотири біморфні елементи, кожен з яких складається з металевої пластини та п'єзоелемента, утримувач об'єкта або 3 51721 Корисна модель пояснюється кресленнями, де: на Фіг.1 – показано загальний вид п'єзокерамічного сканера, що пропонується; на Фіг.2 – показано вид зверху. П'єзокерамічний сканер містить основу 1, утримувач об'єкта або зонда 2, чотири біморфні елементи 3, 4, 5, 6, кожен з яких складається з металевої пластини 7, 8, 9, 10, на якій закріплений п'єзоелемент 11, 12, 13, 14 (Фіг.2). Біморфні п'єзоелементи одною стороною металевої пластини закріплені на основі таким чином, що поперечний переріз фігури, утвореної сторонами біморфних п'єзоелементів являє собою квадрат або прямокутник, в якому довжина біморфних п'єзоелементів 3, 5 більше, ніж довжина біморфних п'єзоелементів 4, 6. Утримувач, об’єкту 2 виконаний у вигляді біморфного п'єзоелемента, котрий складається з металевої пластини 15 та п'єзоелемента 16, причому утримувач об'єкту закріплений за допомогою пружних пластинок прямокутної форми 17, 18, 19, 20. П'єзокерамічний сканер працює наступним чином. При подаванні напруги на два діаметрально протилежні п'єзоелемента 12 та 14, біморфні п'єзоелементи 4 та 6 починають деформуватися, в Комп’ютерна верстка А. Крижанівський 4 наслідок чого відбувається переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі X. При подаванні напруги на два діаметрально протилежні п'єзоелемента 11 та 13, біморфні п'єзоелементи 3 та 5 починають деформуватися, в наслідок чого відбувається переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі У. При подаванні напруги на п'єзоелемент 16 відбуваються переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі Z. Так як довжина біморфних п'єзоелементів 4 та 6 менша, ніж довжина біморфних п'єзоелементів 3 та 5, резонансні частоти цих біморфних п'єзоелементів відрізняються, що зменшує зв'язок між біморфними п'єзоелементами п'єзокерамічного сканера. Приклад конкретного застосування. У конфетному випадку використовувався п'єзоелемент з п'єзокераміки ЦТС-19 з розмірами: діаметром – 25мм та товщиною - 0,3мм. Металеві пластини 7, 9 з розмірами: широка сторона - 45мм, протилежна сторона – 35мм, висота основи – 15мм, товщина - 0,2мм; висота – 60мм. Металеві пластини 8, 10 з розмірами: сторона – 45мм, товщина - 0,2мм; висота – 35мм. Електроди на внутрішній та зовнішній поверхні п'єзоелемента, так, як показано на Фіг.2. Діапазон сканування вище, чим у найближчого аналогу у 1,8 раза. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601