Спосіб очистки формоутворювачів

Спосіб очистки формоутворювачів, який відрізняється тим, що очистку здійснюють випалом у вуглецевому газовому середовищі при температурі 2070 - 2100°С протягом 10-15 хвилин. (19) (21) 20031213348 (22) 31.12.2003 (24) 15.08.2006 (46) 01.08.2006, Бюл. №8, 2006р. (72) Вишневський Сергій Дмитрович, Кривоносов Євгеній Володимирович, Андрєєв Євгеній Петрович (73) ІНСТИТУТ МОНОКРИСТАЛІВ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ (56) UA 35341 C2, 15.03.2001 3 70250 Як показали проведені експерименти, повністю очистити від корунду молібденові (вольфрамові) формоутворювачі, що мають отвори діаметром менше за 1мм методом термохімічного травлення у вуглецевому газовому середовищі при температурі відпалу 1400-2000°С, неможливо. Внаслідок цих експериментів встановлено, що корунд ефективно видаляється лише з поверхні формоутворювачів, залишаючись у вузьких каналах, що пояснюється надто малою швидкістю травлення корунду через утруднений доступ оновлюючих реагентів. Крім того, існують формоутворювачі з каналами складної форми, з отворами каналів менше за 1мм, в яких відвід продуктів термічної дисоціації корунду і доступ оновлюючих реагентів надто утруднений, що робить видалення корунду з таких формоутворювачів практично неможливим. Молібденові (вольфрамові) формоутворювачі при термообробці за способом, що заявляється, відпалюють при температурі 2070-2100°С. Сумарний парціальний тиск пар термічної дисоціації корунду при 2070°С на порядок вище, ніж при 1900°С, що приводить до збільшення інтенсивності процесу термохімічного травлення і випаровування корунду під час відпалу в вуглецевому газовому середовищі. При зменшенні температури відпалу нижче за 2070°С помітно знижується ефективність процесу випаровування, що не дає повної очистки формоутворювачів. Верхня межа температури відпалу зумовлена тим, що при подальшому її збільшенні Комп’ютерна верстка М. Клюкін 4 істотного підвищення ефективності процесу термохімічної очистки не відбувається, до того ж верхня межа температури відпалу обмежується технічними характеристиками відпалювальних печей і становить ~2200°С. Емпірично встановлено, що вироби досить відпалювати протягом 10-15 хвилин при температурі 2070-2100°С. Така тривалість ізотермічної витримки гарантує повну очистку від корунду формоутворювачів, що використовуються при вирощуванні монокристалів методом Степанова. Спосіб, що пропонується, реалізують таким чином. Молібденові (вольфрамові) формоутворювачі в молібденовому піддоні завантажують у відкритий графітовий контейнер, який вміщують в піч з графітовим нагрівником. Робочий простір завантаженої печі відкачують до залишкового тиску 66Па, формоутворювачі нагрівають до температури 2100°С зі швидкістю 500°С/годину і відпалюють протягом 15 хвилин, після чого нагрів вимикають. Після охолодження печі до кімнатної температури очищені вироби витягують. Режими, обмежені межами параметрів, що заявляються, забезпечують повне очищення від корунду молібденових (вольфрамових) формоутворювачів, що використовуються при вирощуванні монокристалів методом Степанова, а спосіб, що пропонується, поєднує мінімальну тривалість термообробки з мінімальною витратою електроенергії. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601