Вакуумно-дуговий випарювач металу

1. Вакуумно-дуговий випарювач металу, що складається з планарного катода й охоплюючого його стабілізуючого екрана, який знаходиться під плаваючим потенціалом, а катод через джерело живлення дугового розряду сполучений з корпусом вакуумної камери, яка знаходиться під потенціалом землі і є анодом дугового розряду, який відрізняється тим, що має кільцеподібний магніт, розташований суміжно з неробочою поверхнею катода, причому зовнішній контур перерізу полюса 3 71525 4 У припущеному винаході поставлена задача бік робочої поверхні катода, що дозволяє виводивирішується тим, що конструкція вакуумноти вакуумну дугу на робочу поверхню катода й дугового випарювача металу, який містить планаутримувати її там, і також розміщува ти підпалююрний катода з охоплюючого його стабілізуючим чий електрод плазмової системи ініціювання дугоекраном, який знаходиться під плаваючим потенвого розряду під стабілізуючим екраном; ціалом, а катод через джерело живлення дугового - „біля бокової поверхні катода, під стабілізуюрозряду сполучений з корпусом вакуумної камери, чим екраном, змонтовано підпалюючий електрод яка знаходиться під потенціалом землі і являється системи ініціювання дугового розряду", це ознаанодом дугового розряду, згідно винаходу має чає, що в конструкції використано плазмову сискільцеподібний магніт, розташований суміжно з тему ініціювання розряду; неробочою поверхнею катода, причому зовнішній Порівняльний аналіз показує, що ознаки винаконтур перерізу полюса магніту, суміжного з катоходу відповідають критерію „новітності" і є достатдом, повторює форму й розмір зовнішньої кромки німи для всіх випадків, на які поширюється об'єм катода, поперечний розмір полюса магніту складає правової охорони. не більш 10% поперечного розміру катода, а вісь Вакуумно-дуговий випарювач металу працює намагніченості перпендикулярна робочій поверхні наступним чином. В об'ємі вакуумної камери ствокатода, причому робоча поверхня катода знахорюється необхідний вакуум. Між катодом випарюдиться над площиною стабілізуючого екрана, а вача й анодом, тобто конструкцією вакуумної кабіля бокової поверхні катода, під стабілізуючим мери, яка знаходиться під потенціалом землі, екраном, змонтовано підпалюючий електрод сисподається розрядна напруга. Біля бокової поверхні теми ініціювання дугового розряду. катода створюється магнітне поле. В системі ініціЗгідно з другим варіантом винаходу, магніт ювання дугового розряду використано властивість має суміжний з катодом кільцеподібний полюсний дуги р ухатися в напрямку виходу з кута, що утвонаконечник і магнітопровід (магнітопроводи), вирений поверхнею катода і силовою лінією магнітведений за межі вакуумної камери, де на ньому ного поля. При подачі імпульсу підпалюючої назмонтована магнітна котушка (котушки). пруги на підпалюючий електрод, форма магнітного Суть припущеного винаходу пояснюється креполя (як показано на фіг.2) сприяє виходу дуги на сленням, де на фіг.1 приведено конструктивну робочу поверхню катода і переміщенню її у насхему вакуумно-дугового випарювача. Випарювач прямку струмопідвода (до осі системи). При роботі змонтовано у вакуумній камері 1, стінки якої являвипарювача, вакуумна дуга хаотично переміщуються анодом дугового розряду, між анодом і кається по робочій поверхні катода, генеруючи струтодом 2 увімкнуте джерело живлення дугового мені мікрочастинок матеріалу катода (плазми). розряду 3. Під стабілізуючим екраном 4, біля боМагнітне поле, що існує по периметру катода, пекової поверхні катода, встановлено підпалюючий решкоджає виходу дуги за межі робочої поверхні електрод 5. Суміжно з неробочою поверхнею какатода. При утворенні заглиблення на робочій тода встановлено кільцевидний магніт 6. В разі поверхні катода, в результаті розпилення матеріавикористання електромагніта, до полюсного наколу, магнітне поле постійно сприяє вирівнюванню її нечника 6 стикується магнітопровід 7, на протилеформи. Це відбувається внаслідок того, що, як жному кінці якого встановлено магнітну котушку 8. показано на фіг.2, при утворенні вздовж периметНа фіг.1 показано переріз А-А, на якому зображені ру катода підвищення, виникають умови для пеможливі різноманітні форми катода. реміщення дуги переважно вздовж вершини підПорівняльний аналіз із прототипом показує, вищення, що знову вирівнює поверхню катода. що пропоноване технічне рішення має наступні Таким чином, суттєвими перевагами пропоносуттєві відокремлювальні ознаки: ваного вакуумно-плазмового випарювача металу є - „робоча поверхня катода знаходиться над можливість використання катодів довільної форми площиною стабілізуючого екрана" Це означає, що з великою робочою поверхнею і значним робочим робочий ресурс катода збільшується пропорційно ресурсом. об'єму матеріала катода, що знаходиться між Список використаних джерел: площиною його робочої поверхні й площиною ста1. Sablev L.P. et al. Improvements in or relating білізуючого електрода; to apparatus for metal evaporation coating, PATENT - „суміжно з неробочою поверхнею катода розSPECIFICATION, C23c13/12, 1322670, LONDON, ташований кільцеподібний магніт". Використання 1973. магніту, що створю біля бокової поверхні катода 2. Аксёнов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. магнітне поле і магнітні силові лінії якого утворюФормирование потоков металлической плазмы. ють з боковою поверхнею катода кут, відкритий у НИИатоминформ, 1984, - 65с. 5 Комп’ютерна в ерстка В. Мацело 71525 6 Підписне Тираж 37 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601