Застосування dvd-диска як тестового об’єкта для калібрування мікроскопів у мікрометричному та нанометричному діапазонах

Реферат: Застосування DVD-диска як тестового об'єкта для калібрування мікроскопів, що працюють на відбиття, у мікрометричному та нанометричному діапазонах. UA 118191 U (12) UA 118191 U UA 118191 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 Корисна модель належить до пристроїв контролю геометричних розмірів безконтактним способом і може бути використана на підприємствах приладобудування, в медичних та наукових закладах, інше. Вимірювання геометричних розмірів об'єктів в мікрометричному та нанометричному діапазонах оптичною мікроскопією набуває широкого застосування, а як еталон розміру використовуються міри, що працюють на відбиття світла й на просвіт [1]. Існують конструкційні особливості штрихів мір залежно від технології їх виготовлення. Технологія виготовлення міри на відбиття методом механічного прорізання металічного дзеркального покриття створює крайові навали матеріалу покриття. Наявність кількох максимумів на гістограмі висот поверхні спричинених такими навалами викликає невизначеність зумовлену розфокусуванням зображення в околі штриха. Такий технологічний недолік виготовлення міри механічним прорізанням вносить неточності калібрування в діапазоні 150-250 нм. Найближчим аналогом до корисної моделі є тестовий об'єкт - компакт диск для калібрування мікроскопів в мікрометричному діапазоні, що виконаний у вигляді канавкових структур, геометричні розміри канавок якого складають 1,62±01 мкм [2]. Такий тесовий об'єкт дозволяє контролювати лінійні розміри об'єкта у мікрометричному діапазоні. Недоліком найближчого аналога є те, що вона дозволяє контролювати геометричні розміри об'єктів, які більші за 1,6 мікрометра. В основу корисної моделі поставлена задача створення недорогої та доступної для широкого використання міри на відбиття, що дозволить контролювати лінійні розміри об'єкта, менші за 1,6 мкм. Поставлена задача вирішується тим, що як тестовий об'єкт для калібрування мікроскопів у мікрометричному й нанометричному діапазонах використовувати DVD-диск, що призначений для запису та зберігання комп'ютерної інформації. Стандартом відстані між доріжками DVDдиска є 0,7±0,1 мкм [3], що дозволяє використовувати також і його як тестовий об'єкт для калібрування мікроскопів у мікрометричному й нанометричному діапазонах. Приклад реалізації Попередньо було проведено тестування DVD-диска на мікроскопі атомних сил та оптичному мікроскопі NU-2E, оснащеного цифровою камерою із CCD 8 Мпікс. Для вимірювань використовувались об'єктиви збільшеннями 25 (N.A. 0,5), який забезпечував роздільну здатність 0,55 мкм. Корсина модель пояснюється кресленням, де для порівняння наведене зображення поверхні DVD-диска, розмір між доріжками DVD-диска відповідає 0,742 мкм. Враховуючи, що DVD-диски виготовляються за технологією масового виробництва та не використовує високовартісне обладнання, їх ціна в порівнянні з прототипом щонайменше в сотні разів дешевша. Таким чином, можна зробити висновок, що запропоноване технічне рішення відповідає критерію корисності. DVD-диск як тестовий об'єкт для калібрування мікроскопів у мікрометричному та нанометровому діапазонах дозволить контролювати геометричні розміри об'єктів, що менші за 1 мікрон. Джерело інформації: 1. Казанцев Г.Д. Измерительное телевидение /Г.Д. Казанцев, М.И. Курячий, И.Н. Пустынский. - М.: Высшая школа, 1994. - 288 с. 2. Маркіна О.М., Сингаївська О.І., Маслов В.П., Качур Н.В. Застосування компакт-диска як тестового об'єкта для калібрування мікроскопів у мікрометричному діапазоні // Патент України № 100033 МПК 205.01 G01Q40/02, G02B21/00 від 10.07.2015 р. Бюл. № 13. 3. ГОСТ 28376-89 - Компакт-диск. Параметры и размеры. Дата введення 01.01.1991 р. - 7 с. 50 ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ Застосування DVD-диска як тестового об'єкта для калібрування мікроскопів, що працюють на відбиття, у мікрометричному та нанометричному діапазонах. 1 UA 118191 U Комп’ютерна верстка В. Мацело Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, вул. М. Грушевського, 12/2, м. Київ, 01008, Україна ДП “Український інститут інтелектуальної власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 2