Стандартний зразок для калібрування растрового електронного мікроскопа

Реферат: UA 80684 U UA 80684 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Корисна модель належить до галузі вимірювальної техніки і призначена для калібрування растрових електронних мікроскопів. Відомий стандартний зразок для калібрування растрового електронного мікроскопа МШПС 2.0к [1], який дозволяє оцінити основні метрологічні характеристики растрового електронного мікроскопа. Стандартний зразок дає можливість здійснювати калібрування масштабного коефіцієнта m та ефективного радіусу електронного зонда d. Недоліком стандартного зразка є те, що він змінює свої нормовані геометричні параметри після кожного сеансу калібрування. Такий зразок розраховано на обмежену кількість сеансів калібрування. Найбільш близьким по технічній суті до пропонованої корисної моделі є стандартний зразок TGZ-2 [2], узятий як найближчий аналог, що містить крокову структуру. Недоліком стандартного зразка TGZ-2 є порівняно низька точність виготовлення стандартного зразка. Задачею корисної моделі є удосконалення стандартного зразка TGZ-2, шляхом введення додаткових блоків контролю геометричних параметрів стандартного зразка та зміною матеріалу зразка на поверхні якого виготовляється крокова структура, що забезпечує зменшення невизначеності калібрування, за рахунок оперативного попереднього контролю значень нормованих геометричних параметрів стандартного зразка. Поставлена задача вирішується тим, що в стандартному зразку для калібрування растрового електронного мікроскопа, який містить блок крокової структури, новим є те, що додатково містить генератор прямокутних імпульсів, блок Фур'є перетворення, блок обчислення геометричних параметрів крокової структури, причому вихід генератора прямокутних імпульсів з'єднаний зі входом блока Фур'є перетворення та з входом блока крокової структури, вихід якої з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури, вихід блока Фур'є перетворення з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури. На кресленні представлена структурна схема пропонованого стандартного зразка для калібрування растрового електронного мікроскопа. Стандартний зразок для калібрування растрового електронного мікроскопа містить генератор прямокутних імпульсів 1, блок крокової структури 2, блок Фур'є перетворення 3, блок обчислення геометричних параметрів крокової структури 4. При цьому вихід генератора прямокутних імпульсів 1 з'єднаний зі входом блока Фур'є перетворення 3 та з входом блока крокової структури 2, вихід якої з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури 4, вихід блока Фур'є перетворення 3 з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури 4. Блоки 1, 3, 4 реалізовані на базі RISK-контролера. Блок 2 є перетворювачем Фур'є на дисперсійній ліній затримці на поверхневій акустичній хвилі, виготовленій з матеріалу ніобіт літію. Стандартний зразок для калібрування растрового електронного мікроскопа працює в такий спосіб. Генератор прямокутних імпульсів 1 формує імпульси заданої тривалості. З виходу генератора прямокутних імпульсів 1 сигнал надходить на блок крокової структури 2, в якому виконується перетворення Фур'є з використанням дисперсійної лінії затримки на поверхневій акустичній хвилі, та на блок Фур'є перетворення 3, в якому виконується дискретне перетворення Фур'є. З виходів блока крокової структури 2 та блока Фур'є перетворення 3 сигнал надходить на блок обчислення геометричних параметрів крокової структури 4, в якому відбувається порівняння сигналів та обчислення геометричних параметрів крокової структури. Таким чином, пропонований пристрій може бути використаний для підвищення точності калібрування растрових електронних мікроскопів, шляхом мінімізації невизначеності нормованих геометричних параметрів стандартного зразка. Джерела інформації: 1. Новиков Ю.А. Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии / Ю.А. Новиков, Ю.В. Озерин, Ю.И. Плотников, А.В. Раков, П.А. Тодуа. - Труды института общей физики им. A.M. Прохорова. 2006, Т. 62. - С. 36-76. 2. http://www.ntmdt.ru/ - Internet-представництво фірми НТ-МДТ. 1 UA 80684 U ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 5 10 Стандартний зразок для калібрування растрового електронного мікроскопа, який містить блок крокової структури, який відрізняється тим, що додатково містить генератор прямокутних імпульсів, блок Фур'є перетворення, блок обчислення геометричних параметрів крокової структури, причому вихід генератора прямокутних імпульсів з'єднаний зі входом блока Фур'є перетворення та з входом блока крокової структури, вихід якої з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури, вихід блока Фур'є перетворення з'єднаний зі входом блока обчислення геометричних параметрів крокової структури. Комп’ютерна верстка С. Чулій Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 2