Установка для одержання склоподібного гідроокисного матеріалу з багатокомпонентного розчину, переважно для захисту напівпровідникових приборів

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЯИН .SU,m 1578901 A1 (5t>S-B...O1 F 1 3 / 1 0 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ тнт есер ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ j(46) 07.09,91. Кип. ** 33 • ,(21) 4172222/26 (22) 30.12,86 (71) Всесоюзный научно-исследовательский, проектно-конструкторскнй и технологический институт силовых1 и полупроводниковых устройств (72) Л.А, Сямойленко, В,И* Тетерьвов, В.М. Воскресенский и О.И. Бротиковский 621.382(088.8) (56) Авторское с в и д е т е л ь с т в о СССР V 715460, кл. С 01 В 3 3 / 1 2 , 1977. Авторское с в и д е т е л ь с т в о СССР № 8 7 3 8 2 5 , к л . Н 01 L 2 1 / 5 0 , 1980. (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛОВИДНОГО ГИДРООКНСНОГО МАТЕРИАЛА ИЗ МНОГОКОМПОНЕНТНОГО РАСТВОРА, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Х ПРИЮТОВ Ы (57) Изобретение о т н о с и т с я к а п п а р а турному оформлению процессов п о л у ч е ния задитньк покрытий полупроводниковых приборов от в о з д е й с т в и я окружающей среды. Оно о б е с п е ч и в а е т улучшение к а ч е с т в а г о т о в о г о продукта за с ч е т по Изобретение относится к аппаратурйюму оформлению производства стекловидных низкотемпературных материалов для защитного покрытия изделий ох воздействия окружающей среды и проникновения влаги, преимущественно _ * кремниевых структур снловьгх полупроводниковых приборов. Целью изобретения является улучшение качества готового продукта за ( t вышения степени его гомогенизации. Установка для получения стекловидного гидроокнсного материала из многокомпонентного раствора содержит каркас, на котором смонтированы сосуды 1 ( 2, емкости 3, 4 с лопастными мешалками 14, Камера 12 предназначена для смешения реактивов из сосудов 1 и 2, Камера 12 выполенна в виде перевернутого стакана, и полости которого наклонно установлены два капиллярных наконечника соответственно под углом 20-25° и 10-15°, диаметром 1,5-2 мм, при этом противоположная им стенка камеры Ї2 выполнена плоской пертикальной и внизу снабжена уступом шириной 5-6 мм„ Камерл 12 раэмещрна на крышке 11 бака-сборника 5, которая установлена с возможностью откидывания, а бак-сборник установлен с возможностью его перемещения.по рольгангу 6 в термокамеру 8,для выпаривания геля до порошкообразного состояния, Мешалка' 14 в баке-сборнике размещена под уступом камеры смешения. 4 з.п. ф-лы, Сл 3 ил. (Л С 30 счет повышения степени его гомогенизации. На фнг. 1 изображена установка, общий вид; на фиг. 2 - учел I на фиґ. ї; на фиг. 3 - камера смешения, вид сверху. Установка для получения стекловидного гидроокисного материала п виде порошка из многокомпонентного растно* ра, преимущественно для - л щиты получ Г-. '1378901 Установка работает следующим образом. В сосуде 1 предварительно готовят дозированный раствор азотнокислых солей алюминия и свинца в деионизнрованной воде, в сосуде 2 готовят дозированный елнртовый раствор этилового эфира ортокремниевой кислоты-тетраэтоксисилана. В емкости k получают дозированный водный раствор аммиака заданной концентрации. При этом все вышеперечисленные растворы получают с,использованием динамического смешивания лопастными мешалками. Затем в Установка содержит бак-сборник 5 и емкости 3 проводят гидролиз путём дли окончательного получения геля, сливания в него раствора азотнокислых перемещающийся по рольгангу 6, поддон • солей алюминия и свинца из сосуда 7 для, истечения промывочной жидкости геля и термокамеру 8 для выпаривания % / 1 и спиртового раствора тетраэтоксиостаточной промывочной жидкости из ' JQ силана из сосуда 2 при одновременном активном перемешивании их в сосудах геля, снабженную заслонкой 9 для1 и 2 и емкости 3 до наступления прозвыемки бака-сборника 5 из термокамеры рачности, т . е . наступления равновесия с целью выгрузки конечного продукта^ортоэтилсиликата и кремниевой кислоты стекловидного порошка. Краны 10 уста-, в смешанном растворе f содержащем ионы поплоим на трубопроводах. На откидной25 : •крышке 1 1 бака-сборника 5 установле- * свинца и алюминия. После проведення • на камера 12 смешения реактивов в виде . перечисленных операций производят . перевернутого стакана. Накопитель 13 слияние растворов из емкости 3 и 4 в промывочной жидкости сообщен с поддо- ; камеру12 смешения для проведения ; ном 7. Сосуды 1, 2., емкости 3, 4 и - , - стехиометрической реакции; при этом, бак-накопитель 5 снабжены лопастными / , через наконечник 16 на стенку 15 помешялками 1А. Камера 12 смешения имедают раствор из емкости А, а через ет плоскую вертикальную стенку 15,.на , наконечник 17 - из емкости "3. которую направлены капиллярные накоИз камеры 12 образовавшийся в ренечники 16 и 17. Наконечник 16 с диазультате" реакции гель и незначитель35 ная часть непрореагировавшях раствометром капиллярного канала', равным 1 , 5 - 2 мм, установлен наклонно к горов подается в бак-сборник 5, где для ; ризонтали, под углом оІ" 20-25 и получения последней фазы геля смесь предназначен для подачи раствора из подвергают динамическому перемешиваемкости 4. Наконечник 17 с диаметром ; нию лопастной мешалкой 14, Полученный 40 капиллярного канала, равным 1,5-2 гель отстаивают в баке-сборнике 5, установлен наклонно к горизонтали промывают денонсированной водой, вточ под Углом /ь= 10-15° и предназначен рично отстаивают для удаления промыдля подачи раствора под давлением ' . вочной жидкости (воды и холей аммо0,2 ати из емкости 3„ Камера 12 смеше- . ния) в накопитель 13, после чего бакния реактивов снабжена, уступом 18, сборник 5 с гелем подают в термокаме. расположенным по отношению' к вертиру 8, где- гель выпаривают до получекальной стенке под углом ' -у =90-105 ния конечного п*родукта - порошкооб. и имеющий длину уклона 5-6 мм. Уступ разного «вещества. . : ..• 18 предназначен для-подпора (иритормаживания> жидкости, стека,емой по • 50 Об р м у л а и з о б р е т е н и я стенке 15* При этом капиллярные нако1. Установка для получения стеклонечники 16 и 17 установлены с возможвидного гидроокисного материала-кз ностью изменения расстояния до вертимногокомпонентного раствора, преимукальной стенки в интервале 10 - t5 мм. Боковые грани 19 камеры 12 смешения 55 щественно для защиты полупроводниковых приборов, содержащая сосуды с ограничивают пленочный поток раствора мешалками для приготовления водных по стенке 15. Мешалка 14 в баке-сборрастворов азотнокислых солей стеклоовнике 5 расположена под уступом 18. приборов, состоит из (vie показам) на котором тнроплйы сВсуд 1 (см. фиг/ 1) для up од паритель ного получения дозирован-.1 ного раствора азотнокислых алюминиевых и свинцовых солей в деионизированноіЧ воде, сосуд 2 для получения дозированного спиртового раствора этилово-. го эфира ортокремниевой кислоты - ТЄТ-JQ раэтоксисилана, емкость 3 для их смешения, емкость 4 для получения дозиропянпого водного раствора аммиака. 5 "15 раэующих элементоп, спиртового раствора тетраэтокснсилана, емкость для их смешения, емкость для приготовле- ; {ния водного раствора аммиака, бак' сборник с мешалкой и термокамеру, о т личагощаяся тем, что, с целью улучшения качества готового продукта за счет повышения степени его гомогенизации, установка снабжена камерой смешения, выполненной в виде перевернутого стакана, установленного на крышке бака-сборника и сообщенного в нижней части с, последним, камера смешения снабжена капиллярными наконечниками, один из которых соединен с емкостью для приготовления водного раствора аммиака, а другой - с емкость» для смешения, при этом • стенка камеры смешения, на которую направлены капиллярные наконечники, выполнена плоской, вертикальной, с уступом в нижней части, а мешалка бака-сборника размещена под уступом, бак-сборник установлен с возможностью и u --и 8901 перемещения в термокамеру, например, с помощью рольганга. 2. Установка п о п , 1, о т л И - • ч а ю щ а я с я тем, что диаметр капиллярных наконечников равен 1,5 - 2 мм. 3. Установка по пп, t,2t о т л и ч а ю щ а я с я тем, что капиллярные наконечники установлены с возможностью изменения расстояния до плоской стенки а интервале 10-15 мм, 4. Установка по пп. 1 --3,.о t л н15 ч а ю щ а я с я тем, что верхний капиллярный наконечник наклонен К го* ризонтали под углом 20-25а, \ нижний „под углом 10-15 * 20 ' ... 5 . Установка по п . ^f о т л и . " ч а ю щ а я с я тем, что уступ каме'ры смешения расположен по отношению к плоской стенке под углом 90*105 и 25 составляет 5-6 мм. о--у Q и-О Фиг. і 15789ОЇ фаг. 2 ч "^ і 1 1 1 1 III фиг.З Ггляктор М. Токарева Составитель Т. Круглова Т(зхред М.Ходанич Корректор М. Кучерявая Тираж 'Л7Л Гасударстненмг.г о комитета по изобретениям и открытиям при ГЮТ С ? Р