Пристрій для фіксації, переважно напівпровідникових пластин в установках для термообробки

Изобретение относится к области машиностроения, и может быть использовано, например, в гибких автоматизированных производствах, в частности при производстве изделий микроэлектроники методом динамической плазменной обработки. Наиболее близким по технической сущности к заявляемому техническому решению является устройство, содержащее корпус с каналом для соединения с вакуумной системой и с кольцевой проточкой, в которой размещен кольцеобразный элемент с полостью, соединенной с системой подачи теплоносителя. Недостатком известного устройства являются низкие его эксплуатационные возможности, обусловленные неравномерным распределением температур. Задачей изобретения является создание устройства для фиксации полупроводниковых пластин, в котором равномерность распределения температуры достигается благодаря компенсации теплоотвода в месте контакта пластины, в результате чего улучшаются эксплуатационные возможности устройства, Указанная задача решается тем, что устройство для фиксации, преимущественно полупроводниковых пластин, в установках для термообработки, содержащее корпус с каналом для соединения с вакуумной системой и с кольцевой проточкой, в которой размещен кольцеобразный элемент с полостью для соединения с системой подачи теплоносителя, согласно изобретению, снабжено теплоизолирующей прокладкой, установленной в кольцевой проточке корпуса между наружной поверхностью кольцеобразного элемента и стенками проточки корпуса и регулятором температуры, размещенным со стороны подачи теплоносителя в полость кольцеобразного элемента. Сущность заявляемого изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 изображен общий вид устройства; на фиг. 2 - вид свер ху. Устройство для фиксации и термостатирования состоит из корпуса 1, имеющего расточку 2, отверстия для теплоносителя 3 и отверстия для подвода вакуума 4, кольцеобразный элемент 5 с полостью 6, соединенный с отверстиями для теплоносителя 3 в корпусе 1. Кольцеобразный элемент 5 связан с корпусом посредством теплоизолирующей прокладки 7, установленной а кольцевой проточке корпуса между наружной поверхностью кольцеобразного элемента и стенками проточки корпуса. Со стороны подачи теплоносителя расположен регулятор температуры 9. для регулирования температуры кольцеобразного элемента и расположенной на ней пластины 10. Для изготовления узлов и деталей устройства возможно использовать конструкционную сталь. Для теплоизолирующей прокладки возможно использовать асбест или другие теплоизолирующие материалы, трубы и регулятор температуры - стандартные. Устройство для фиксации и термостатирования работает следующим образом. Пластина 10 устанавливается на кольцеобразном элементе 5, расположенный в корпусе 1 и вакуумом от источника вакуума по отверстию для подвода вакуума 4 притягивается к поверхности кольцеобразного элемента 5. От источника нагрева теплоноситель подается через отверстие в корпусе 1 в полость 6 кольцеобразного элемента 5, нагревает наружную поверхность кольцеобразного элемента 5 и передает тепло через места контакта пластины 10, компенсируя теплоотвод при термообработке пластины 10.Теплопередача корпусу 1 отсутствует из-за изоляции прокладкой 8. Регулирование температуры кольцеобразного элемента осуществляется регулятором температуры 9. По сравнению с прототипом, заявляемое техническое решение позволяет достичь равномерности распределения температур и. таким образом, улучшить эксплуатационные возможности.