Патенти з міткою «гетероепітаксійного»
Спосіб гетероепітаксійного вирощування шарів напівпровідникових багатокомпонентних сполук
Номер патенту: 38628
Опубліковано: 12.01.2009
Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Баганов Євген Олександрович, Саріков Андрій Вікторович
МПК: C30B 19/00, C30B 29/00, H01L 21/02 ...
Мітки: напівпровідникових, сполук, шарів, багатокомпонентних, вирощування, гетероепітаксійного, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб гетероепітаксійного вирощування шарів напівпровідникових багатокомпонентних сполук, що включає первісну хімічну підготовку підкладки, нанесення на планарну поверхню захисного маскуючого шару Si3N4 або SiO2, формування за допомогою фотолітографії і хімічного або плазмохімічного травлення вікон у захисному маскуючому шарі, який відрізняється тим, що після формування вікон у захисному шарі проводять формування поруватого шару у вікнах за...