Патенти з міткою «кремній-на-ізоляторі”-структур»

Номер патенту: 65226

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: Когут Ігор Тимофійович, Довгий Віктор Володимирович, Дружинін Анатолій Олександрович, Голота Віктор Іванович

МПК: C30B 31/00

Мітки: виготовлення, кремній-на-ізоляторі"-структур, нестандартних, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення нестандартних "кремній-на-ізоляторі"-структур, що включає маскування поверхні кремнієвої пластини за заданою топологією ділянками плівки нітриду кремнію, витравлення в пластині в незамаскованих місцях вертикальних щілин заданої глибини, їх покриття нітридом кремнію та його селективне витравлювання на дні щілин, поглиблення щілин та формування бокових порожнин-тунелів витравлюванням кремнію під поверхнею...