Довгий Віктор Володимирович
Спосіб виготовлення нестандартних “кремній-на-ізоляторі”-структур
Номер патенту: 65226
Опубліковано: 25.11.2011
Автори: Голота Віктор Іванович, Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Довгий Віктор Володимирович
МПК: C30B 31/00
Мітки: нестандартних, спосіб, кремній-на-ізоляторі"-структур, виготовлення
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення нестандартних "кремній-на-ізоляторі"-структур, що включає маскування поверхні кремнієвої пластини за заданою топологією ділянками плівки нітриду кремнію, витравлення в пластині в незамаскованих місцях вертикальних щілин заданої глибини, їх покриття нітридом кремнію та його селективне витравлювання на дні щілин, поглиблення щілин та формування бокових порожнин-тунелів витравлюванням кремнію під поверхнею...
Комірка базового матричного кристала
Номер патенту: 62994
Опубліковано: 26.09.2011
Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Голота Віктор Іванович, Ховерко Юрій Миколайович, Вуйцик Андрій Михайлович, Довгий Віктор Володимирович
Мітки: кристала, матричного, базового, комірка
Формула / Реферат:
Комірка базового матричного кристала, що містить вісім нескомутованих р- і n-канальних польових транзисторів, виготовлених на смугах n- і р-областей і розташованих вздовж шин живлення, при цьому два з них р- та n-транзистори призначені для міжелектродної комутації, яка відрізняється тим, що 3р- і 3n-канальні польові транзистори та 1n- і 1р-канальний польові транзистори попарно розташовані, послідовно з'єднані та діелектрично ізольовані між...