Патенти з міткою «lll-інтерферометрі»
Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі х-променевого муарового зображення в кремнієвому lll-інтерферометрі
Номер патенту: 121378
Опубліковано: 11.12.2017
Автори: Фодчук Ігор Михайлович, Литвин Петро Мар'янович, Баловсяк Сергій Васильович, Яремчук Іванна Володимирівна
МПК: G01T 1/16, G06F 17/17, G06F 17/00 ...
Мітки: величини, зображення, основі, муарового, кристала, полів, визначення, lll-інтерферометрі, х-променевого, спосіб, кремнієвому, деформаційних
Формула / Реферат:
Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLL-інтерферометрі, який полягає в тому, що для отримання фазового муару в інтерферометрі встановлюють однорідну клиноподібну пластину, на основі цифрового муарового зображення f обчислюють енергетичний спектр Фур'є Ps та його радіальний розподіл FR, а значення максимальної зосередженої сили...