Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі х-променевого муарового зображення в кремнієвому lll-інтерферометрі

Реферат: Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLL-інтерферометрі, у якому для отримання фазового муару в інтерферометрі встановлюють однорідну клиноподібну пластину. На основі цифрового муарового зображення f обчислюють енергетичний спектр Фур'є Ps та його радіальний розподіл FR. Значення максимальної зосередженої сили Рmах. та суми зосереджених сил Psum., які зумовлюють деформації кристалічної ґратки, обчислюють через параметр радіального розподілу FRpp. В інтерферометрі перед аналізатором встановлюють клиноподібну пластину з поліметилметакрилату з кутом =2° між бічними гранями так, щоб вона перекривала половину пучка Х-променів і розміщувалася паралельно до аналізатора. Енергетичний спектр Ps обчислюють для такого вертикального масштабу зображення f, при якому еліпсоподібні смуги спектра перетворюються в кола. Радіальний розподіл FR обчислюють для масштабованого енергетичного спектра, перетворюють його до логарифмічного масштабу і апроксимують поліномом степеня nр= 7. Визначають середній період Тrс муарових смуг зображення f і відповідну йому частоту rc, як параметр FRpp використовують значення апроксимованого радіального розподілу для частоти rc, залежності FRpp від Рmах. та від Psum. описують у вигляді поліномів першого і другого степенів відповідно. UA 121378 U (12) UA 121378 U UA 121378 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Корисна модель належить до галузі неруйнівної діагностики деформацій кристалічної ґратки за даними Х-променевих методів, зокрема з використанням кремнієвого трикристального LLLінтерферометра (triple Laue-case X-ray LLL-interferometer), і може практично використовуватися для більш точного визначення просторового розподілу деформаційних полів досліджуваних кристалів [1-10]. Перспективність методу Х-променевих муарових зображень при дослідженні кристалів пояснюється його високою чутливістю до малих деформацій ґраток [8, 11]. Якщо вважати, що максимально допустимий для спостережень інтервал смуг муару дорівнює 1 см, то при міжплощинній відстані 1 Å точність визначення величини дилатації ґратки (зміни міжплощинної -8 відстані) складає 10 Å, а точність визначення повороту площин - 0.01 "[8]. Кремнієвий LLL-інтерферометр складається з трьох пластин (кристалів): розщеплювача (подільника), дзеркала і аналізатора, розміщених на спільній кристалічній основі. Дифракція Хпроменів відбувається на проходження (дифракція Лауе). Падаючий пучок Х-променів заломлюється і дифрагує на кожному з трьох кристалів. У результаті інтерференції заломлених і дифрагованих променів в аналізаторі формується муарове зображення f, яке визначається відповідною фазовою різницею φ між променями. Встановлення перед аналізатором клиноподібної пластини при фазовій різниці φ=0 приводить до виникнення фазового муару у вигляді рівновіддалених інтерференційних смуг [8]. Інтерферометр чутливий до деформацій кристалічної ґратки кристала-аналізатора, оскільки такі деформації приводять зміни фаз Хпроменів, а відповідно до характерних змін форми і періоду смуг фазового муару. Отримане муарове зображення фіксується на фотопластинці, після чого перетворюється в цифрову форму за допомогою сканера. Деформації кристалічної ґратки аналізатора можна виразити через дію зосереджених сил на вихідну поверхню кристала. Для опису деформацій ґратки використовуються рівномірно розміщені зосереджені сили Р=(Pd), де d=1,…, Qp. Такий підхід дозволяє на основі малої кількості параметрів (наприклад, Qp=7) описати складний розподіл деформацій кристалічної ґратки [5-7]. В експериментальних дослідженнях деформаційні поля спричинюються структурними дефектами кристала-аналізатора, які зумовлені, наприклад, скрайбуванням або подряпинами поверхні [2, 3]. Найближчим аналогом запропонованого способу визначення деформаційних полів кристала на основі муарового зображення є описаний в роботах [5-7, 9, 10] спосіб, який оснований на розрахунку інтенсивності муарових зображень при різних значеннях зосереджених сил Р та порівнянні модельованих муарових зображень з експериментальним. Експериментальне муарове зображення отримується в інтерферометрі при встановленні перед аналізатором клиноподібної пластини. Пряма задача, яка полягає в обчисленні інтенсивності муарового зображення f на основі деформаційних полів кристала, в способі-аналога вирішується шляхом числового розв'язання рівнянь Такагі. Значення зосереджених сил Р підбираються так, щоб наблизити модельоване зображення до експериментального, тобто суть способу-аналога полягає в багатократному вирішенні прямої задачі. Недоліком розглянутого аналога є його низька точність обчислення Р(3.3 %), оскільки відсутній алгоритм підбору значень для зосереджених сил. Безпосереднє обчислення деформаційних полів кристала на основі муарового зображення f в розглянутому способі-аналогу не використовується, оскільки такі залежності на даний час неможливо описати аналітично. Водночас, форма і періоди смуг на муарових зображеннях, а відповідно й їх спектри, суттєво залежать від наявних у кристалах деформаційних полів. Технічною задачею корисної моделі є підвищення точності визначення величини залишкових деформацій від дії поверхневих або об'ємних джерел напруг у кристалі на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення, отриманого в кремнієвому LLLінтерферометрі, для чого розроблено новий спосіб аналізу муарового зображення/за допомогою енергетичного спектра Фур'є Ps, який передбачає розміщення в інтерферометрі спеціального фазового об'єкта - клиноподібної пластини. Отримання муарового зображення f виконується при розміщенні в інтерферометрі перед аналізатором однорідної клиноподібної пластини із заданим кутом α, що приводить до виникнення фазового муару, чутливого до деформаційних полів у кристалах. Обробка енергетичного спектра Ps полягає в обчисленні його радіального розподілу FR. Залежності параметрів радіального розподілу FR від розподілу та величини зосереджених сил Р встановлено в результаті аналізу серії модельованих муарових зображень f. З врахуванням отриманих залежностей розроблений спосіб дозволяє обчислювати значення зосереджених сил Р безпосередньо на основі аналізу радіального розподілу FR для енергетичного спектра Ps муарового зображення. Оскільки інтенсивність муарового зображення найбільше залежить від максимальної зосередженої сили Рmах. та від суми зосереджених сил 1 UA 121378 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Рsum., тому для наближеного опису деформацій кристалів замість всіх сил Р достатньо обчислити значення Рmах. та Рsum… Поставлена задача в способі визначення величини деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLLінтерферометрі, вирішується тим, що в інтерферометрі перед аналізатором розміщують клиноподібну пластину з поліметилметакрилату з кутом α=2° між бічними гранями, для цифрового муарового зображення f обчислюють енергетичний спектр Фур'є Ps та його радіальний розподіл FR, а значення максимальної зосередженої сили Рmах. та суми зосереджених сил Psum., які зумовлюють деформації кристалічної ґратки, обчислюють через параметр радіального розподілу FRpp, де енергетичний спектр Рs обчислюють для такого вертикального масштабу зображення f, при якому еліпсоподібні смуги спектра перетворюються в кола, радіальний розподіл FR обчислюють для масштабованого енергетичного спектра, перетворюють його до логарифмічного масштабу і апроксимують поліномом степеня nр=7, визначають середній період Тrc муарових смуг зображення і відповідну йому частоту νrc, як параметр FRpp використовують значення апроксимованого радіального розподілу для частоти νrc, залежності FRpp від Рmaх. та від Psum. описують у вигляді поліномів першого і другого степеня відповідно. Технічний результат досягається за рахунок того, що розміщення в інтерферометрі перед аналізатором клиноподібної пластини з поліметилметакрилату з кутом α=2°, обчислення масштабованого енергетичного спектра Psc і його радіального розподілу FR, параметра FRpp як значення радіального розподілу FR в логарифмічному масштабі, апроксимованого поліномом степеня nр=7 і отриманого при середній частоті муарових смуг νrc, підвищує точність обчислення параметрів деформаційних полів у досліджуваних кристалах. Фіг. 1 - Схема Х-променевого LLL-інтерферометра [6]: S - розщеплювач, MR - дзеркало, А аналізатор, W - клиноподібна пластина, Х1 - падаючий пучок Х-променів, Х0, Xh - заломлений і дифрагований пучки після розщеплювача S, Х0h, Xhh - дифраговані пучки після дзеркала MR, Х21, Х22 - вихідні пучки інтерферометра, які формують муарове зображення. Фіг. 2. Експериментальне Х-променеве муарове зображення f подряпини, утвореної індентором на вихідній поверхні аналізатора кремнієвого LLL-інтерферометра (Фіг. 1); довжина подряпини, яка зумовлює зосереджені сили, Lp=2 мм; значення Qp=1 рівномірно розміщених зосереджених сил Ре=(0.091, 0.055, 0.036, 0.036, 0.036, 0.055, 0.091) Н, сума зосереджених сил = Psume=0.4 Н, максимальне значення зосередженої сили Pmaxe 0.091 H; середній період муарових смуг Тrc=17 пікселів; відбивання (220) СuКα - випромінювання; розмір зображення 543543 пікселі [6]. Фіг. 3. Розраховане Х-променеве муарове зображення f"1800-30-24-12-6-12-24-30" подряпини на вихідній поверхні аналізатора кремнієвого LLL-інтерферометра (Фіг. 1); подряпина моделюється набором із Qp=7 зосереджених сил, розміщених в ряд через 800 мкм; довжина подряпини Lp=4.8 mm; значення зосереджених сил Р=(0.144, 0.115, 0.058, 0.029, 0.058, 0.115, 0.144) Н; сума зосереджених сил Psum=0.4 Н; середній період муарових смуг Тгс=10 пікселів; відбивання (220) СuКα-випромінювання; розмір зображення МN=701701 пікселі. Фіг. 4. Енергетичний спектр муарового зображення f (Фіг. 3) в логарифмічному масштабі за яскравістю PsL-ln(1+Ps); вертикальний масштаб Scv=1.000. Фіг. 5. Енергетичний спектр масштабованого муарового зображення f (Фіг. 3) в логарифмічному масштабі за яскравістю PscL=ln(1+Psc); вертикальний масштаб Scym=1.310 забезпечує максимум Rqd (8). Фіг. 6. Радіальний розподіл FRL енергетичного спектра Ps (Фіг. 4) в напівлогарифмічному масштабі; FRp - апроксимовані значення FRL; вертикальний масштаб Scy=1.000; Rqd=0.1452 (8). Фіг. 7. Радіальний розподіл FRL масштабованого енергетичного спектру Рsc (Фіг. 5) в напівлогарифмічному масштабі; FRp - апроксимовані значення FRL; вертикальний масштаб Scvm=1.310; Rqd=0.2230 (8). Фіг. 8. Апроксимовані радіальні розподіли FRp масштабованих енергетичних спектрів Psc для модельованих муарових зображень, обчислених на основі відомих наборів зосереджених сил Р; Р1=(0.072,0.043, 0.029, 0.014, 0.029, 0.043, 0.072) Н; P2= (0.115, 0.072, 0.058, 0.038, 0.058, 0.072, 0.115) Н; Р3=(0.144, 0.115, 0.058, 0.029, 0.058, 0.115, 0.144) Н (Фіг. 7). Фіг. 9. Апроксимація залежності FRpp(Pmax.) поліномом першого степеня FRpm(10); значення параметра FRpp для експериментального муарового зображення (Фіг. 2) FRpp1=10.049, обчислене значення максимальної зосередженої сили Рmах1=0.0906 Н, експериментальне значення максимальної зосередженої сили Рmахе=0.0910 Н, відносна похибка обчислення максимальної зосередженої сили ΔРmах.=0.4 %. 2 UA 121378 U 5 10 15 Фіг. 10. Апроксимація залежності FRpp(Psum) поліномом другого степеня FRps(11); значення параметра FRpp для експериментального муарового зображення (Фіг. 2) FRpp1=10.049, обчислене значення суми зосереджених сили Psum1=0.406 Н, експериментальне значення суми зосереджених сил Psume=0.4 Н, відносна похибка обчислення суми зосереджених сил ΔPsum=15 %. Пропонований спосіб визначення деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення, отриманого в LLL-інтерферометрі, полягає в тому, що в інтерферометрі розміщують клиноподібну пластину із поліметилметакрилату з кутом α, для цифрового муарового зображення f обчислюють масштабований енергетичний спектр Фур'є Psc та його радіальний розподіл FR, а значення зосереджених сил Р обчислюють через параметр радіального розподілу FRpp на основі встановлених поліноміальних залежностей, як параметр FRpp використовують значення апроксимованого радіального розподілу FR в логарифмічному масштабі при середній частоті муарових смуг νrc. Клиноподібну пластину з поліметилметакрилату розміщують в інтерферометрі перед аналізатором (паралельно до нього) так, щоб вона перекривала половину пучка Х-променів. Проходження Хпроменів через клиноподібну пластину приводить до зміни їх фази і виникнення фазового муару у вигляді інтерференційних смуг з інтервалом dM [8]: d  20 25 30  ,   tan  де  - довжина хвилі Х-променів;  - одиничний декремент показника заломлення матеріалу клину для  . Аналіз експериментальних і модельованих муарових зображень [2-7] показав, що картина фазового муару та його спектр є найбільш чутливими до деформаційних полів кристалааналізатора при інтервалі інтерференційних смуг dM1 мм, тому згідно з (1) вибирають матеріал клиноподібної пластини з малим δ (поліметилметакрилат), а для СuКα-випромінювання в LLLінтерферометрі встановлюють клиноподібну пластину з кутом α=2°. Цифрове муарове зображення, отримане у відтінках сірого, обробляють як матрицю f=(f (і, к)), де і=1……М, k=1,…, N; М - висота зображення в пікселях, N - ширина зображення в пікселях. Над муаровим зображенням f виконують двомірне пряме дискретне перетворення Фур'є [12] за формулою: Fm, n  35 M N  i 1k 1  m n ,  , M N (2) (3) Енергетичний спектр Ps (Power spectrum) [12; 13, С. 235-239], який позначається також терміном "Спектральна густина потужності" (Power spectral density), дорівнює квадрату модуля спектра F: 2 Ps  F , 45  m  i  1 n  k  1      N  M    f i, k   exp  j  2  де F- спектр Фур'є, m=1, 2,…, М; n=1,2,…, N; j - уявна одиниця; m - номер (індекс) частоти за висотою; n - номер частоти за шириною. Кожному номеру (m, n) частот відповідає значення (u, ν) частот: u 40 (1) (4) Для енергетичного спектра Ps обчислюють його радіальний розподіл FR(nr), де nr - номер радіальної частоти, nr=1,…, NR, NR=max(M, N); номера радіальної частоти nr відповідає значення радіальної частоти r  R , nr (5) 3 UA 121378 U Кожному значенню радіальної частоти νr відповідає множина пар частот (u, ν), для яких виконується умова (6)  r  u2   2 , 5 10 Величини FR(vr) обчислюють як середні значення енергетичного спектра Ps для частот νr. Значення радіального розподілу FR для низьких частот значно перевищує FR для високих частот, тому радіальний розподіл перетворюють до логарифмічного масштабу FRL=ln(1+FR). Отриманий радіальний розподіл FRL апроксимують поліномом FRp степені nр = 7 за методом найменших квадратів [14], в результаті чого отримують апроксимований радіальний розподіл в логарифмічному масштабі FRp  r   15 20 , (7) c 0 де k pa - коефіцієнти полінома FRp. Результуючий радіальний розподіл FR отримують на основі енергетичного спектра Fsc, який обчислюють для такого вертикального масштабу зображення f, при якому еліпсоподібні смуги спектра перетворюються в кола, що дозволяє підвищити точність обчислення FR, a відповідно підвищити точність обчислення зосереджених сил. Вертикальний масштаб Sfy зображення f змінюють в межах від Sfy_min. до Sfy_max. з кроком Sfy_step., при цьому для кожного значення масштабу Sfy і відповідного йому вертикального масштабу Scy енергетичного спектра Psc обчислюють корінь середньої квадратичної різниці Rqd між радіальним розподілом в логарифмічному масштабі FRL і поліномом FRp(l), який апроксимує FRL, за формулою: R qd  25 np  k pa c    rc 1 NR  FRL nr   FRp nr 2 NR , (8) nr 1 . (8) Для масштабу Scym-Scy, при якому на енергетичному спектрі Psc еліпси перетворяться в кола, на радіальному розподілі FRL виникають максимальні осциляції і відповідно значення Rqd буде максимальним. Тому масштаб Scym визначається за максимумом Rqd. Як параметр радіального розподілу FRpp використовують значення полінома FRp (7) для частоти νrc  rc  1 , Trc (9) 30 35 де Trc - середній період муарових смуг на зображенні f. Для встановлення залежностей параметра радіального розподілу FRpp від максимальної зосередженої сили Рmах та суми зосереджених сил Рsum обчислюють серію з модельованих муарових зображень f для відомих зосереджених сил. Для зображень f обчислюють масштабований енергетичний спектр Psc, його апроксимований радіальний розподіл FRp і параметр FRpp=а FRp(νrc). Залежність FRpp від Рmах апроксимується поліномом першого степеня FRpm за методом найменших квадратів: FRpm  k pm 0  k pm 1  Pmax , 40 (10) де kрm - коефіцієнти полінома FRpm; kрm(0) = 8.5802; kрm(1)=16.2078. Залежність параметра FRpp від Рsum апроксимується поліномом другого степеня FRps за методом найменших квадратів: 2 FRps  k ps 0  k ps 1  Psum  k ps 2  Psum , 45 (11) де kps - коефіцієнти полінома FRps; kps(0)=8.0593; kps(1)=6.1815; kps(2)=-3.1508. 4 UA 121378 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Значення максимальної зосередженої сили Рmах. та суми зосереджених сил Psum. обчислюють через параметр радіального розподілу FRpp на основі встановлених залежностей (10) та (11). Експериментальну перевірку точності розробленого способу виконують при пошкодженні кристала-аналізатора інтерферометра подряпиною у формі відрізка прямої. Це дозволяє моделювати вплив такого пошкодження на деформаційні поля кристала набором відомих зосереджених сил Ре з максимальним значенням Рmахе і сумарним Рsиmе. Значення максимальної Рmах. і сумарної Psum. зосередженої сили за пропонованим способом обчислюють із співвідношень (10) та (11). Порівняння відомих параметрів (Рmахе, Fsume) та обчислених параметрів (Рmах, Psum) зосереджених сил дозволяє оцінити точність пропонованого методу. Оцінку точності запропонованого способу продемонструємо на прикладі обробки експериментального Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLLінтерферометрі [5-7]. Програмна обробка муарового зображення виконана в системі Matlab [12]. Запропонований спосіб дозволяє обчислювати значення максимальної зосередженої сили Рmах. з точністю 0.4 % (Фіг. 9) і значення сумарної зосередженої сили Psum. з точністю 1.5 % (Фіг. 10), а точність обчислення значень зосереджених сил для способу-аналога складає 3.3 %. Таким чином, в порівнянні зі способами-аналогами, запропонований спосіб дозволяє точніше визначати деформаційні поля кристала за рахунок обробки параметрів масштабованого енергетичного спектра для Х-променевого муарового зображення, отриманого в кремнієвому ZZL-інтерферометрі. Джерела інформації: 1. Bonse U. X-Ray Interferometer / U. Bonse, M. Hart // Appl. Phys. Letters. -1965.-V. 8, No. 8.-P. 155-156. 2. Раранский Н.Д. Муаровые изображения полос роста в бездислокационном монокристалле Si / Н.Д. Раранский, В.П. Шафранюк, И.М. Фодчук // УФЖ. - 1985. - Т. 30, № 1. С.133-135. 3. Раранский Н. Д. Рентгеноинтерферометрическое изображение полей деформаций вокруг дислокационных скоплений / Н.Д. Раранский, В.П. Шафранюк, И.М. Фодчук // Металлофизика. 1985. - Т.7, № 5. - С. 63-71. 4. Fodchuk I. M. Moire images simulation of strains in x-ray interferometry / I. M. Fodchuk, M. D. Raransky // J. Phys. D: Applied Physics. - 2003. - V. 36. -P. A55-A59. 5. Новіков С. М. Моделювання Х-променевих дифракційних зображень залишкових деформаційних полів подряпин локальними зосередженими силами / С.М. Новіков // Науковий вісник ЧНУ. Фізика. Електроніка. -2009.-№438.-С 55-61. 6. Фодчук И. М. Рентгенодифракционные изображения микроцарапин, представленных в виде многорядных распределений сосредоточенных сил / И.М.Фодчук, С.Н.Новиков, Я.М.Струк, И.В.Фесив // Металлофизика и новейшие технологии. -2013. -Т. 35, № 5. -С. 711-723. 7. Фодчук I.M. Вплив величини і розташування зосереджених сил на формування муарових картин в LLL-інтерферометрі / І.М. Фодчук, С.М. Новіков, І.В. Яремчук // Науковий вісник ЧНУ. Фізика. Електроніка. - 2014. - Т. З, Вин. 2. - С 11-19. 8. Лидер В.В. Рентгеновские кристаллические интерферометры / В. В. Лидер //Успехи физических наук. -2014. -Т. 184, № 11.-С. 1217-1236. 9. Fodchuk I.M. Direct and inverse problems in X-ray three-crystal LLL-interferometry / I. M. Fodchuk, S. M. Novikov, I. V. Yaremchuk // Applied Optics. - 2016. - V. 55, No. 12. - B120-B125. 10. Фодчук И.М. Воспроизведение остаточного деформационного поля в кристаллеанализаторе LLL-интерферометра / И.М. Фодчук, С.М. Новиков, И.В. Яремчук // Металлофизика и новейшие технологии. - 2016. - Т. 38, № 3. - С. 389-403. 11. United States Patent No.: 7,499,520 B2. Akio Yoneyama, Yasuharu Hirai. X-Ray Imaging Apparatus and Method with an X-Ray Interferometer. Mar. 3, 2009. 12. Гонсалес P. Цифровая обработка изображений в среде MATLAB /Р.Гонсалес, Р.Вудс, С.Эддинс. -М.: Техносфера, 2006. -616 с. 13. Гонсалес Р. Цифровая обработка изображений / Р.Гонсалес, Р. Вудс. - М.: Техносфера, 2005. - 1072 с. 14. Кетков Ю. Л. Matlab 7: программирование, численные методы/ Ю.Л.Кетков, А.Ю.Кетков, М.М.Шульц. - СПб.: БХВ-Петербург, 2005. - 752 с. 5 UA 121378 U ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 5 10 15 20 Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLL-інтерферометрі, який полягає в тому, що для отримання фазового муару в інтерферометрі встановлюють однорідну клиноподібну пластину, на основі цифрового муарового зображення f обчислюють енергетичний спектр Фур'є Ps та його радіальний розподіл FR, а значення максимальної зосередженої сили Рmах. та суми зосереджених сил Psum., які зумовлюють деформації кристалічної ґратки, обчислюють через параметр радіального розподілу FRpp, який відрізняється тим, що в інтерферометрі перед аналізатором встановлюють клиноподібну пластину з поліметилметакрилату з кутом =2° між бічними гранями так, щоб вона перекривала половину пучка Х-променів і розміщувалася паралельно до аналізатора, енергетичний спектр Ps обчислюють для такого вертикального масштабу зображення f, при якому еліпсоподібні смуги спектра перетворюються в кола, радіальний розподіл FR обчислюють для масштабованого енергетичного спектра, перетворюють його до логарифмічного масштабу і апроксимують поліномом степеня nр=7, визначають середній період Тrс муарових смуг зображення f і відповідну йому частоту rc, як параметр FRpp використовують значення апроксимованого радіального розподілу для частоти rc, залежності FRpp від Рmах. та від Psum. описують у вигляді поліномів першого і другого степенів відповідно. 6 UA 121378 U 7 UA 121378 U 8 UA 121378 U 9 UA 121378 U 10 UA 121378 U Комп’ютерна верстка Л. Ціхановська Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, вул. М. Грушевського, 12/2, м. Київ, 01008, Україна ДП “Український інститут інтелектуальної власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 11