Патенти з міткою «мікродефектного»
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію
Номер патенту: 48502
Опубліковано: 25.03.2010
Автори: Третяк Олег Васильович, Примаченко Іван Андрійович, Лисоченко Сергій Васильович, Єременко Вадим Олексійович, Жарких Юрій Серафимович, Карплюк Олександр Іванович
МПК: G01B 11/30
Мітки: визначення, спосіб, товщини, приповерхневого, пластинах, мікродефектного, кремнію, шару
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію, що включає опромінення зразка світлом і реєстрацію характеристик відбитої зразком частини опромінення, який відрізняється тим, що опромінення проводять в області прозорості кремнію інфрачервоним світлом з довжиною хвиль 1,3-27 мкм, а товщину приповерхневого мікродефектного шару на пластинах кремнію визначають за величиною довгохвильової межі густини шумів...