Патенти з міткою «мон-транзистор»
Тривимірний мон-транзистор зі структурою “кремній-на-ізоляторі”
Номер патенту: 49691
Опубліковано: 11.05.2010
Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Ховерко Юрій Миколайович, Голота Віктор Іванович
МПК: H01L 27/00
Мітки: кремній-на-ізоляторі, тривимірний, структурою, мон-транзистор
Формула / Реферат:
Тривимірний МОН-транзистор зі структурою "кремній-на-ізоляторі", який складається із кремнієвої підкладки р-типу провідності, на якій послідовно сформовані шар ізолятора, підканальна область у вигляді монокристалічної плівки кремнію р- або n-типу провідності, шар підзатворного діелектрика, затвор і прилеглі до затвора стік-витокові області, леговані електрично активною домішкою n- або р-типу провідності відповідно, який...