Патенти з міткою «преципітованого»
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії
Номер патенту: 97884
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Лісовський Ігор Петрович, Войтович Марія Володимирівна, Литовченко Володимир Григорович, Злобін Сергій Олександрович
МПК: H01L 21/66
Мітки: визначення, кисню, кремнії, концентрації, спосіб, монокристалічному, преципітованого
Формула / Реферат:
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії, який включає хімічну обробку полірованої з обох сторін пластини кремнію в розчині HF, опромінення її ІЧ світлом і вимірювання смуги ІЧ пропускання в діапазоні 1000-1200 см-1 на валентних Si-Ο зв'язках, який відрізняється тим, що пластину кремнію при вимірюванні смуги ІЧ пропускання додатково охолоджують до температури рідкого азоту 77 К, із зареєстрованої...