Войтович Марія Володимирівна
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії
Номер патенту: 97884
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Злобін Сергій Олександрович, Войтович Марія Володимирівна, Лісовський Ігор Петрович, Литовченко Володимир Григорович
МПК: H01L 21/66
Мітки: визначення, кисню, спосіб, монокристалічному, концентрації, кремнії, преципітованого
Формула / Реферат:
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії, який включає хімічну обробку полірованої з обох сторін пластини кремнію в розчині HF, опромінення її ІЧ світлом і вимірювання смуги ІЧ пропускання в діапазоні 1000-1200 см-1 на валентних Si-Ο зв'язках, який відрізняється тим, що пластину кремнію при вимірюванні смуги ІЧ пропускання додатково охолоджують до температури рідкого азоту 77 К, із зареєстрованої...
Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню
Номер патенту: 82104
Опубліковано: 25.07.2013
Автори: Лісовський Ігор Петрович, Войтович Марія Володимирівна, Злобін Сергій Олександрович, Венгер Євген Федорович
МПК: C23C 14/00, C23C 4/00, G01M 15/00 ...
Мітки: електрохімічного, кисню, сенсора, планарного, спосіб, виготовлення
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню, який включає нанесення на металеву підкладку шарів металічного нагрівача, ізолюючих шарів Аl2О3, поруватих каталітично-активних електродів Pd або Pt, суцільної плівки твердо-електролітної кераміки на базі діоксиду цирконію та поруватий захисний шар SiOx, який відрізняється тим, що всі шари наносять методом іонно-плазмового розпилення мішені у вакуумі, при цьому нагрівач, ізолюючі...