Злобін Сергій Олександрович
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії
Номер патенту: 97884
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Злобін Сергій Олександрович, Войтович Марія Володимирівна, Литовченко Володимир Григорович, Лісовський Ігор Петрович
МПК: H01L 21/66
Мітки: кремнії, монокристалічному, преципітованого, концентрації, кисню, визначення, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії, який включає хімічну обробку полірованої з обох сторін пластини кремнію в розчині HF, опромінення її ІЧ світлом і вимірювання смуги ІЧ пропускання в діапазоні 1000-1200 см-1 на валентних Si-Ο зв'язках, який відрізняється тим, що пластину кремнію при вимірюванні смуги ІЧ пропускання додатково охолоджують до температури рідкого азоту 77 К, із зареєстрованої...
Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню
Номер патенту: 82104
Опубліковано: 25.07.2013
Автори: Войтович Марія Володимирівна, Венгер Євген Федорович, Лісовський Ігор Петрович, Злобін Сергій Олександрович
МПК: C23C 4/00, G01M 15/00, C23C 14/00 ...
Мітки: спосіб, сенсора, кисню, виготовлення, електрохімічного, планарного
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню, який включає нанесення на металеву підкладку шарів металічного нагрівача, ізолюючих шарів Аl2О3, поруватих каталітично-активних електродів Pd або Pt, суцільної плівки твердо-електролітної кераміки на базі діоксиду цирконію та поруватий захисний шар SiOx, який відрізняється тим, що всі шари наносять методом іонно-плазмового розпилення мішені у вакуумі, при цьому нагрівач, ізолюючі...
Багатозондовий модуль для скануючого мікроскопа
Номер патенту: 40936
Опубліковано: 27.04.2009
Автори: Ларкін Сергій Юрійович, Злобін Сергій Олександрович
МПК: G01B 11/08, G01B 5/00
Мітки: багатозондовий, мікроскопа, скануючого, модуль
Формула / Реферат:
Багатозондовий модуль для скануючого мікроскопа, що містить касету із зондами, з'єднану із приводом обертання, закріпленим на основі, зв'язаний із приводом обертання трубчастий п'єзосканер, що містить фланець та одним кінцем закріплений на основі, при цьому касета виконана у вигляді набору кронштейнів із зондами, виконаних у вигляді кварцових резонаторів з вістрями та установлених на фланці з можливістю руху відносно нього й взаємодії зі...