Патенти з міткою «пристрій-натікач»
Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки і пристрій-натікач для його здійснення
Номер патенту: 100736
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Бабич Вілик Максимович, Піскун Наталія Василівна, Баранський Петро Іванович, Статкевич Ігор Іванович, Асніс Юхим Аркадійович
МПК: C30B 13/12, C30B 13/22, C30B 29/06 ...
Мітки: електронно-променевої, зонної, безтигельної, здійснення, пристрій-натікач, методом, монокристалів, одержання, легованих, спосіб, кремнію, плавки
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки, який полягає в тому, що розплавляють зону вихідного стрижня дисковим електронним променем і подають легуючу домішку у плавильну камеру, яка вакуумується, при цьому газ легуючої домішки подають безпосередньо в плавильну камеру за допомогою пристрою-натікача, що включає циліндричний корпус з штуцерами для підключення входу і виходу...