Бабич Вілик Максимович
Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки і пристрій-натікач для його здійснення
Номер патенту: 100736
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Асніс Юхим Аркадійович, Піскун Наталія Василівна, Баранський Петро Іванович, Бабич Вілик Максимович, Статкевич Ігор Іванович
МПК: C30B 13/22, C30B 29/06, C30B 13/12 ...
Мітки: легованих, пристрій-натікач, кремнію, монокристалів, безтигельної, спосіб, одержання, електронно-променевої, зонної, плавки, здійснення, методом
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки, який полягає в тому, що розплавляють зону вихідного стрижня дисковим електронним променем і подають легуючу домішку у плавильну камеру, яка вакуумується, при цьому газ легуючої домішки подають безпосередньо в плавильну камеру за допомогою пристрою-натікача, що включає циліндричний корпус з штуцерами для підключення входу і виходу...