Патенти з міткою «структури»

Номер патенту: 1621

Опубліковано: 25.10.1994

Автори: Макарова Тетяна Вікторовна, Прохоров Євген Федорович, Горев Микола Борисович, Уколов Олексій Тихонович

МПК: H01L 21/66

Мітки: низькоомна, глибоких, плівка-високоомна, концентрації, структури, визначення, центрів, підложка, засіб, незаповнених

Формула / Реферат:

Способ определения концентрации незапол­ненных глубоких центров в структурах низкоомная пленка—высокоомная подложка, включаю­щий создание контактов к пленке, измерение зависимости тока от напряжения между кон­тактами и вычисление искомой величины, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения информативности способа по крайней мере один из контактов выполняют в виде прижимного зонда, создающего барьер Шоттки, прикладывают к нему...