Баер Мартін
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття шляхом конденсації з парової фази (варіанти)
Номер патенту: 73290
Опубліковано: 15.07.2005
Автори: Рейт Вольфганг Ерхардт, Баер Мартін, Еберхардт Гельмут, Еванс Джон Дуглас, старший, Рік Альфред, Брюс Роберт Вілліам, Марікоккі Антоніо Френк
МПК: C23C 14/56, C23C 14/46, C22B 9/22 ...
Мітки: конденсації, шляхом, варіанти, пристрій, електронно-променевий, покриття, парової, фазі, нанесення
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:покривну камеру (12), яка виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску;конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;апертуру (68) в...