Рік Альфред

Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття шляхом конденсації з парової фази (варіанти)

Завантаження...

Номер патенту: 73290

Опубліковано: 15.07.2005

Автори: Марікоккі Антоніо Френк, Еберхардт Гельмут, Баер Мартін, Еванс Джон Дуглас, старший, Брюс Роберт Вілліам, Рейт Вольфганг Ерхардт, Рік Альфред

МПК: C23C 14/46, C22B 9/22, C23C 14/56 ...

Мітки: електронно-променевий, конденсації, шляхом, пристрій, покриття, варіанти, фазі, парової, нанесення

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій  (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:покривну камеру (12),  яка виконана з можливістю функціонування  в умовах підвищеної температури  та субатмосферного тиску;конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;апертуру (68) в...