Рейт Вольфганг Ерхардт
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття шляхом конденсації з парової фази (варіанти)
Номер патенту: 73290
Опубліковано: 15.07.2005
Автори: Марікоккі Антоніо Френк, Брюс Роберт Вілліам, Еберхардт Гельмут, Рейт Вольфганг Ерхардт, Еванс Джон Дуглас, старший, Рік Альфред, Баер Мартін
МПК: C23C 14/56, C23C 14/46, C22B 9/22 ...
Мітки: парової, нанесення, фазі, електронно-променевий, шляхом, пристрій, конденсації, покриття, варіанти
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:покривну камеру (12), яка виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску;конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;апертуру (68) в...