Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття шляхом конденсації з парової фази (варіанти)

1. Електронно-променевий пристрій  (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:

покривну камеру (12),  яка виконана з можливістю функціонування  в умовах підвищеної температури  та субатмосферного тиску;

конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;

апертуру (68) в стінці покривної камери (12), крізь яку електронний промінь (28) проходить в покривну камеру (12);

другу камеру (64), розташовану усередині покривної камери (12) з можливістю закриття апертури (68) для її відокремлення від ділянки покриття; та

засоби (66) для підтримки тиску в другій камері (64) не вищим, ніж в ділянці покриття.

2. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що частина стінки другої камери (64) не примикає до конденсаційної бленди (52).

3. Електронно-променевий пристрій за п. 2, який відрізняється тим, що частина стінки має другу апертуру (62), крізь яку електронний промінь виходить із другої камери (64) та входить в ділянку покриття.

4. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що друга камера (64) має частину стінки, що утворена верхньою стінкою покривної камери (12).

5. Електронно-променевий пристрій за п. 4, який відрізняється тим, що друга камера (64) має нижній край, закритий стінкою, що паралельна верхній стінці конденсаційної бленди та не примикає до бленди (52).

6. Електронно-променевий  пристрій  за п. 5, який відрізняється тим, що частина стінки нижнього краю має другу апертуру (62), крізь яку електронний промінь (28) виходить із другої камери (64) та входить в ділянку покриття.

7. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12);

бленду (52), яка визначає ділянку покриття в покривній камері (12), причому ділянка покриття пристосована для обробки в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття та на покривний матеріал (26), причому зазначена електронно-променева пушка (30) здатна розплавити покривний матеріал (26) та випарити розплавлений покривний матеріал (26);

засоби (22) для підтримки виробу (20) в ділянці покриття так, щоб пари покривного матеріалу (26) осаджувалися на виробі (20);

апертуру (68) в стінці покривної камери (12), крізь яку електронний промінь (28) проходить в покривну камеру (12);

другу камеру (64), розташовану усередині покривної камери (12) з можливістю вміщення апертури (68) для її відокремлення від ділянки покриття; та засоби (66) для підтримки тиску в другій камері (64) нижчим, ніж у ділянці покриття.

8. Електронно-променевий пристрій за п. 7, який відрізняється тим, що частина стінки другої камери (64) не примикає до конденсаційної бленди (52).

9. Електронно-променевий пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що частина стінки має другу апертуру (62), крізь яку електронний промінь виходить із другої камери (64) та входить в ділянку покриття.

10. Електронно-променевий пристрій за п. 7, який відрізняється тим, що друга камера (64) має першу частину стінки, що примикає до стінки покривної камери (12).

11. Електронно-променевий пристрій за п. 10, який відрізняється тим, що друга камера (64) має другу частину стінки, яка не примикає до бленди (52).

12. Електронно-променевий пристрій за п. 11, який відрізняється тим, що друга частина стінки нижнього краю має другу апертуру (62), крізь яку електронний промінь (28) виходить із другої камери (64) та входить у ділянку покриття.