Еберхардт Гельмут
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття шляхом конденсації з парової фази (варіанти)
Номер патенту: 73290
Опубліковано: 15.07.2005
Автори: Брюс Роберт Вілліам, Рік Альфред, Еберхардт Гельмут, Баер Мартін, Еванс Джон Дуглас, старший, Марікоккі Антоніо Френк, Рейт Вольфганг Ерхардт
МПК: C23C 14/56, C22B 9/22, C23C 14/46 ...
Мітки: парової, фазі, шляхом, пристрій, електронно-променевий, покриття, нанесення, варіанти, конденсації
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:покривну камеру (12), яка виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску;конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;апертуру (68) в...