G01R 31/308 — з використанням неіонізуючого електромагнітного випромінювання, наприклад оптичного випромінювання
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі
Номер патенту: 78989
Опубліковано: 10.04.2013
Автори: Малютенко Володимир Костянтинович, Гамов Дмитро Вікторович, Малютенко Олег Юрійович, Нікірін Віктор Андрійович, Кирюша Олексій Іванович, Богатиренко Вячеслав Валерійович, Мельник Віктор Павлович, Хацевич Ігор Мирославович
МПК: G01N 21/00, G01R 31/308
Мітки: областей, напівпровідниковому, легованих, безконтактного, спосіб, матеріали, виявлення
Формула / Реферат:
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі, що включає визначення розподілу концентрації вільних носіїв заряду по поверхні зразка, який відрізняється тим, що зразок нагрівають до температури 50-200 °С і з допомогою тепловізійної камери реєструють розподіл по поверхні зразка густини потоку теплового інфрачервоного випромінювання в області за краєм фундаментального поглинання даного напівпровідника, який...