Хацевич Ігор Мирославович
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 83371
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Голтвянський Юрій Васильович, Венгер Євген Федорович, Хацевич Ігор Мирославович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Нікірін Віктор Андрійович, Кучук Адріан Володимирович, Кладько Василь Петрович, Оберемок Олександр Степанович
МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392
Мітки: термочутливої, спосіб, неохолоджуваних, оксиду, плівки, болометрів, виготовлення, ванадію
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі
Номер патенту: 78989
Опубліковано: 10.04.2013
Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Кирюша Олексій Іванович, Малютенко Володимир Костянтинович, Мельник Віктор Павлович, Нікірін Віктор Андрійович, Малютенко Олег Юрійович, Богатиренко Вячеслав Валерійович, Гамов Дмитро Вікторович
МПК: G01N 21/00, G01R 31/308
Мітки: виявлення, матеріали, безконтактного, областей, напівпровідниковому, спосіб, легованих
Формула / Реферат:
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі, що включає визначення розподілу концентрації вільних носіїв заряду по поверхні зразка, який відрізняється тим, що зразок нагрівають до температури 50-200 °С і з допомогою тепловізійної камери реєструють розподіл по поверхні зразка густини потоку теплового інфрачервоного випромінювання в області за краєм фундаментального поглинання даного напівпровідника, який...
Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію методом магнетронного розпилення
Номер патенту: 62706
Опубліковано: 12.09.2011
Автори: Попов Валентин Георгійович, Романюк Борис Миколайович, Гудименко Олександр Йосипович, Оберемок Олександр Степанович, Голтвянський Юрій Васильович, Хацевич Ігор Мирославович, Мельник Віктор Павлович, Нікірін Віктор Андрійович
МПК: G02F 1/015
Мітки: розпилення, спосіб, магнетронного, виготовлення, термохромної, ванадію, плівки, методом, діоксиду
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію, який включає нанесення на підігріту до 200-250 °С підкладку у вакуумній камері шару аморфного оксиду ванадію і його кристалізацію шляхом термічного відпалу, який відрізняється тим, що шар аморфного оксиду ванадію наносять шляхом магнетронного розпорошення ванадієвої мішені в середовищі газової суміші Аr та О2, вміст якого складає 3-7 %, зі швидкістю напилення 5-15 нм/хв., а термічний...
Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури
Номер патенту: 39868
Опубліковано: 10.03.2009
Автори: Попов Валентин Георгійович, Мельник Павло Вікентієвич, Мельник Віктор Павлович, Романюк Борис Миколайович, Хацевич Ігор Мирославович
МПК: H01L 21/00, H01L 29/00
Мітки: структури, нанокластерної, виготовлення, кремнієвої, спосіб, фотолюмінесцентної
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає напилення на Si підкладку, методом термічного розпилення мішені, плівки SiOx (x=1,4-1,6), формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері Аr та низькотемпературний відпал в атмосфері, що містить азот, який відрізняється тим, що спочатку проводять формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері аргону при температурі 1050-1200 °С впродовж...
Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури
Номер патенту: 85477
Опубліковано: 26.01.2009
Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Мельник Віктор Павлович, Романюк Борис Миколайович, Оберемок Олександр Степанович, Попов Валентин Георгійович, Гамов Дмитро Вікторович
МПК: H01L 29/00, H01L 21/00
Мітки: кремнієвої, виготовлення, нанокластерної, фотолюмінесцентної, структури, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає нанесення на Si підкладку методом плазмохімічного осадження з газової фази плівки SiOx із показником заломлення n від 1,5 до 1,78 та відпал отриманої структури в атмосфері інертного газу, який відрізняється тим, що перед відпалом в плівку SiOx методом іонної імплантації вводять іони Аl+, дози яких складають від 0,4х1016 до 1,15х1016 іонів/см2, а відпал...