Нікірін Віктор Андрійович
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 83371
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Мусаєв Сергій Мусаєвич, Хацевич Ігор Мирославович, Голтвянський Юрій Васильович, Кладько Василь Петрович, Оберемок Олександр Степанович, Венгер Євген Федорович, Нікірін Віктор Андрійович, Кучук Адріан Володимирович
МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392
Мітки: термочутливої, ванадію, спосіб, неохолоджуваних, оксиду, болометрів, виготовлення, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі
Номер патенту: 78989
Опубліковано: 10.04.2013
Автори: Малютенко Олег Юрійович, Мельник Віктор Павлович, Нікірін Віктор Андрійович, Гамов Дмитро Вікторович, Богатиренко Вячеслав Валерійович, Хацевич Ігор Мирославович, Кирюша Олексій Іванович, Малютенко Володимир Костянтинович
МПК: G01N 21/00, G01R 31/308
Мітки: легованих, областей, напівпровідниковому, виявлення, матеріали, спосіб, безконтактного
Формула / Реферат:
Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі, що включає визначення розподілу концентрації вільних носіїв заряду по поверхні зразка, який відрізняється тим, що зразок нагрівають до температури 50-200 °С і з допомогою тепловізійної камери реєструють розподіл по поверхні зразка густини потоку теплового інфрачервоного випромінювання в області за краєм фундаментального поглинання даного напівпровідника, який...
Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію методом магнетронного розпилення
Номер патенту: 62706
Опубліковано: 12.09.2011
Автори: Попов Валентин Георгійович, Романюк Борис Миколайович, Мельник Віктор Павлович, Нікірін Віктор Андрійович, Оберемок Олександр Степанович, Гудименко Олександр Йосипович, Хацевич Ігор Мирославович, Голтвянський Юрій Васильович
МПК: G02F 1/015
Мітки: магнетронного, плівки, виготовлення, розпилення, методом, спосіб, термохромної, діоксиду, ванадію
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію, який включає нанесення на підігріту до 200-250 °С підкладку у вакуумній камері шару аморфного оксиду ванадію і його кристалізацію шляхом термічного відпалу, який відрізняється тим, що шар аморфного оксиду ванадію наносять шляхом магнетронного розпорошення ванадієвої мішені в середовищі газової суміші Аr та О2, вміст якого складає 3-7 %, зі швидкістю напилення 5-15 нм/хв., а термічний...