Губенко Лідія Іллівна
Спосіб виготовлення структур діодів прямої полярності
Номер патенту: 67122
Опубліковано: 15.06.2004
Автори: Солодовнік Анатолій Іванович, Коваленко Олена Костянтинівна, Полухін Олексій Степанович, Губенко Лідія Іллівна, Коляда Алевтина Іванівна, Копаєва Ольга Вікторівна
МПК: H01L 21/22
Мітки: структур, діодів, полярності, виготовлення, спосіб, прямої
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення структур діодів прямої полярності, який включає створення на катодній поверхні пластини n-кремнію локального маскувального покриття, формування зон металу-розчинника на основі алюмінію відповідно до конфігурації наскрізних відокремлюючих областей по периметру структур, створення цих наскрізних відокремлюючих областей термоміграцією з одночасною дифузією алюмінію з пари, видалення маски і подальшу дифузію фосфору в...