Коляда Алевтина Іванівна
Спосіб виготовлення структур діодів прямої полярності
Номер патенту: 67122
Опубліковано: 15.06.2004
Автори: Коваленко Олена Костянтинівна, Полухін Олексій Степанович, Губенко Лідія Іллівна, Солодовнік Анатолій Іванович, Копаєва Ольга Вікторівна, Коляда Алевтина Іванівна
МПК: H01L 21/22
Мітки: полярності, структур, спосіб, діодів, виготовлення, прямої
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення структур діодів прямої полярності, який включає створення на катодній поверхні пластини n-кремнію локального маскувального покриття, формування зон металу-розчинника на основі алюмінію відповідно до конфігурації наскрізних відокремлюючих областей по периметру структур, створення цих наскрізних відокремлюючих областей термоміграцією з одночасною дифузією алюмінію з пари, видалення маски і подальшу дифузію фосфору в...